[发明专利]一种掩模夹具

说明书

本发明公开了一种掩模夹具，一种掩模夹具，包括滑槽，滑槽的一端固定安装有握柄，滑槽的另一端位置套接有可移动夹头，握柄和可移动夹头之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件，且辅助组件套接在滑槽的表面，现通过握柄与握把之间的的配合使得掩模板的一端被夹紧，在通过调节可移动夹头安装插销，然后对应卡槽，有利于将不同类型大小的掩模板夹紧，在通过辅助组件的作用下，有利于装置能够适应多种加工环境，也可以将掩模板悬空加工，且使得掩模板的四个端面能够受到力的作用，有利与辅助固定夹头和可移动夹头将掩模板夹紧。

技术领域

本发明涉及掩模夹具技术领域，具体为一种掩模夹具。

背景技术

掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影(显影+烘烤)、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模工艺过程中，为了手动取放掩模版后遗留手指印以及颗粒等污染物质，出现了掩模夹具，现有的掩模台上需要夹持不同类型大小和不同形状的工件，因此在现有的夹具上拥有多种的类型的夹具，在多种类型的夹具下，因此也导致了掩模台使用不方便，还因为多种类型的夹具原因，使得在加工成本上的浪费，为了降低成本，为此，我们提出一种掩模夹具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种掩模夹具，包括滑槽，滑槽的一端固定安装有握柄，滑槽的另一端位置套接有可移动夹头，握柄和可移动夹头之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件，且辅助组件套接在滑槽的表面，在滑槽的表面安装一个辅助组件有利于将夹具在夹紧掩模板的时候更为稳定一点，防止其脱落。

优选的，握柄的表面位置贯穿有螺杆，握柄的底部通过配合螺杆连接有用于手动调节的握把，握柄和握把之间安装有用于快速复位的第一弹簧，握把的一端在靠近滑槽的底端位置安装有固定夹头,且螺杆通过贯穿握柄与握把固定连接，安装第一弹簧的目的是在于在拆卸装置的时候有弹簧本身的弹性能够将掩模板被拆除。

优选的，滑槽的表面开设有多个卡槽，可移动夹头的表面位置贯穿有插销，插销的底端位置外圆套接有限位块，限位块的底端位置固定连接有第二弹簧，且插销通过贯穿可移动夹头与卡槽进行卡接，用卡槽和限位块卡接，有利于可移动夹头快速的找到对应的固定位置。

优选的，辅助组件包括设置在滑槽的表面用于保护装置的外壳，且外壳是种有槽腔体，外壳的内部安装有斜齿槽，斜齿槽的两侧位置均安装有用于将装置进行限位的软性移动块，软性移动块的表面贯穿有用于手动调节的移动柱，软性移动块的一侧位置连接固定有第三弹簧，第三弹簧的一端连接有与外壳滑动的滑块，移动柱的底端位置连接有连接杆，连接杆的一端固定连接有用于夹紧掩模板的辅助夹板，辅助夹板有利于夹住在不同类型的中掩模板，使得掩模板在加工固定的同时能够更稳定。

优选的，滑槽的一端在靠近握柄的连接处是为折叠层。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：现通过握柄与握把之间的的配合使得掩模板的一端被夹紧，在通过调节可移动夹头安装插销，然后对应卡槽，有利于将不同类型大小的掩模板夹紧，在通过辅助组件的作用下，有利于装置能够适应多种加工环境，也可以将掩模板悬空加工，且使得掩模板的四个端面能够受到力的作用，有利与辅助固定夹头和可移动夹头将掩模板夹紧。

附图说明

图1为本发明整体的构造的结构示意图；

图2为本发明可移动夹头的局部剖视结构示意图；

图3为本发明握柄的局部剖视结构示意图；

图4为本发明辅助组件的结构示意图；

图5为本发明A点的放大图结构示意图；