[发明专利]双室高效镀膜机

权利要求书

1.一种双室高效镀膜机，其特征在于，所述双室高效镀膜机包括运输台以及镀膜系统，所述运输台与所述镀膜系统相连通，所述镀膜系统包括第一处理室以及第二处理室，所述第一处理室与所述运输台连通，所述运输台用于承载工件并将所述工件传输至所述第一处理室中，所述第一处理室远离所述运输台的一侧与所述第二处理室相连通，所述第一处理室用于对所述工件进行前处理并将所述工件传输至第二处理室中进行镀膜。

2.根据权利要求1所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述运输台包括承载架以及滑动设置在所述承载架上的工件架，所述工件架用于承载所述工件，以带动通过所述工件架带动所述工件在所述承载架上滑动。

3.根据权利要求2所述的双室高效镀膜机，其特征在于，沿所述运输台的长度方向形成有第一工位、第二工位以及第三工位，所述工件架能够在所述第一工位、所述第二工位以及所述第三工位上流转，所述第一工位与所述第三工位分设与所述第二工位两侧，第二工位与所述第一处理室相连通。

4.根据权利要求3所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述工件架呈圆形，所述运输台还包括驱动电机，所述驱动电机与所述工件架连接，以驱动所述工件架饶其自身轴心旋转以带动所述工件做圆周运动。

5.根据权利要求4所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述双室高效镀膜机还包括第一阻断阀和第二阻断阀，所述第一处理室与所述第三工位之间设有所述第一阻断阀，所述第一处理室与所述第二处理室之间设有所述第二阻断阀。

6.根据权利要求5所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述第一处理室外部设有与所述第一处理室的内腔连通的第一安装仓，所述第二处理室外部设有与所述第二处理室的内腔连通的第二安装仓，所述第一安装仓内设有处理装置，所述第二安装仓内设有镀膜装置。

7.根据权利要求6所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述镀膜装置包括至少一对用于对所述工件镀膜的阴极。

8.根据权利要求7所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述处理装置为蒸发器、离子源清洗器以及镀膜装置中的任一种。

9.根据权利要求8所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述第二处理室的外部还设有与所述第二处理室的内腔连通的电感耦合射频等离子体激发源。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的双室高效镀膜机，其特征在于，所述双室高效镀膜机还包括真空抽取系统，所述真空抽取系统与所述第一处理室和/或所述第二处理室连通以对应抽取所述第一处理室和所述第二处理室内的气体。