[发明专利]一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法有效
| 申请号: | 202011144981.9 | 申请日: | 2020-10-23 |
| 公开(公告)号: | CN112251729B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
| 发明(设计)人: | 朱汪根;张见平;许波;胡松;吴俊保;冯治国 | 申请(专利权)人: | 凯盛信息显示材料(黄山)有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 周勇 |
| 地址: | 245400 安徽省黄山市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 真空镀膜 玻璃 基板架 及其 镀膜 系统 传输 方法 | ||
本发明提供一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法,包括基板架、上旋转座、下旋转座和真空驱动机构,所述基板架包括横梁和竖梁,若干所述横梁和竖梁将基板架分隔为玻璃安装间隔和真空驱动机构间隔,所述弹簧套活动安装在伸缩机构内;所述真空驱动机构安装在真空驱动机构间隔内,所述真空驱动机构包括筒体,所述驱动连杆上间隔均匀设置有若干主动同步带轮,本发明通过上下的玻璃固定弹片将待镀膜的玻璃进行夹持,不会对玻璃表面造成划伤,减小了玻璃边角破损的风险,利用真空环境的特点,通过真空和大气压条件下的内外气压差,从而在无需电机驱动下完成玻璃的180°旋转,使得玻璃可以进行双面镀膜,提高玻璃的装卸和镀膜效率。
技术领域
本发明涉及真空镀膜装置技术领域,具体为一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法。
背景技术
现有技术中申请号为“CN201410197259.X”的一种用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法,属于真空镀膜中的玻璃基板传输技术及关键工艺装备,该装置用于真空镀膜的玻璃基板架包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板的底面封闭或底面中空的边框容置区,具有所述玻璃基板架的镀膜系统还包括玻璃基板架传输装置以及与玻璃基板架平行设置的镀膜装置,使用所述玻璃基板架的传输方法是玻璃基板架倾斜站立在所述玻璃基板架传输装置上且边框容置区的边缘与与所述玻璃基板架的水平方向的底边水平线形成倾斜角度,上述装置用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统结构简单,利用所述玻璃基板架的传输方法通过设置玻璃基板架的凹形边框容置区结构及玻璃基板架和凹形边框容置区的各自位置关系代替夹具实现玻璃基板的稳固传输,解决了因夹具影响使得玻璃基板镀膜阴影、小颗粒污染等镀膜良品率低的问题。
但是上述该用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法在使用过程中仍然存在较为明显的缺陷:1、上述装置通过将玻璃斜靠于边框容置区内部,使得玻璃的一面抵靠在边框容置区,此种安装方式容易造成玻璃的边角破碎和表面划伤,同时当玻璃镀膜完成后,由于玻璃与边框容置区紧贴,难以将玻璃从其上取下,从而影响装卸进度;2、上述装置的边框容置区使得真空镀膜室仅能够对玻璃的一个表明进行镀膜,当需要进行双面镀膜时,该装置则无法满足镀膜要求,使用场景较为有限。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种真空镀膜的玻璃基板架,包括基板架、上旋转座、下旋转座和真空驱动机构,所述基板架包括若干横梁和竖梁,若干所述横梁和竖梁将基板架分隔为玻璃安装间隔和真空驱动机构间隔,所述玻璃安装间隔阵列式排布,若干所述玻璃安装间隔上下的横梁上分别活动安装有上旋转座和下旋转座,所述上旋转座和下旋转座一一对应式设置;
若干所述上旋转座包括上旋转盘,所述上旋转盘底部固定安装有玻璃固定弹片,所述上旋转盘通过上转轴活动插设在弹簧套内,所述弹簧套内设置有复位弹簧,所述弹簧套活动安装在伸缩机构内;
若干所述下旋转座包括下旋转盘,所述下旋转盘上部固定安装有玻璃固定弹片,所述下旋转盘底部通过下转轴活动安装在弹簧套内,所述弹簧套内设置有复位弹簧,所述下转轴远离下旋转盘一端固定安装有从动同步轮;
所述真空驱动机构安装在真空驱动机构间隔内,所述真空驱动机构包括筒体,所述筒体内部一侧固定安装有充气伸缩气囊,所述充气伸缩气囊的伸缩端固定安装有挤压板,所述挤压板上端固定安装有伸缩齿条,所述伸缩齿条与主动斜齿轮盘活动配合,所述主动斜齿轮盘与从动斜齿轮啮合,所述从动斜齿轮固定连接在驱动连杆上,所述驱动连杆上间隔均匀设置有若干主动同步带轮,所述主动同步带轮均通过同步带与水平方向设置的若干从动同步轮连接,所述从动斜齿轮、驱动连杆、同步带和从动同步轮均设置于基板架内部;
所述伸缩机构包括伸缩套筒,所述上旋转座的弹簧套活动安装在伸缩套筒内,所述伸缩套筒一侧通过螺纹旋钮活动抵靠在弹簧套上;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于凯盛信息显示材料(黄山)有限公司,未经凯盛信息显示材料(黄山)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011144981.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:在显示屏上标记批注的方法、装置和存储介质
- 下一篇:电源输入接触不良模拟器
- 同类专利
- 专利分类





