[发明专利]固晶机/固阻机软灯带的进料机构、进料方法及固晶机和固阻机在审
| 申请号: | 202011098840.8 | 申请日: | 2020-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN112117227A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
| 发明(设计)人: | 徐大林;程飞;张力平;江艳峰;郭俊军 | 申请(专利权)人: | 深圳市佳思特光电设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人: | 胡清方;彭友华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固晶机 固阻机软灯带 进料 机构 方法 固阻机 | ||
1.一种固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:包括Y轴移动单元(1)和设置在Y轴移动单元(1)上的材料定位机构(2),所述材料定位机构(2)包括底座(21)、设置在该底座(21)上的可升降材料吸附定位单元(23),以及中间导向治具(24),所述可升降材料吸附定位单元(23)上升或者下降从而将材料(9)夹持在可升降材料吸附定位单元(23)和中间导向治具(24)之间,或将材料(9)从可升降材料吸附定位单元(23)和中间导向治具(24)之间松开,还包括在所述中间导向治具(24)的前、后设置且与中间导向治具(24)连接的前导向治具(31)和后导向治具(32),在所述前导向治具(31)上设有前夹料机构(41),所述前夹料机构(41)前方设有前U型料槽(51),在所述后导向治具(32)上设有后夹料机构(42),所述后夹料机构(42)后方设有后U型料槽(52)。
2.根据权利要求1所述的固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:所述可升降材料吸附定位单元(23)包括位于底座(21)上的第一动力源(231)、吸嘴(232)、设置在该第一动力源(231)上方的内设有空腔的顶板(233),所述顶板(233)的上表面设有若干通孔(234),所述吸嘴(231)伸入所述顶板(233)的空腔内且与空腔和通孔(234)连通而形成若干吸附通道,该第一动力源(231)可推动所述顶板(233)上升或者下降从而使得顶板(233)靠近或远离所述中间导向治具(24),从而夹紧或者松开材料。
3.根据权利要求1或2所述的固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:所述前夹料机构(41)包括前夹料座(410)、位于所述前夹料座(410)上且相对的第一夹料动力源(411)和第二夹料动力源(412)、导轨(415)、位于所述第一夹料动力源(411)前由第一夹料动力源(411)驱动的第一压块(413),以及位于所述第二夹料动力源(412)前由第二夹料动力源驱动的第二压块(414),所述第一压块(413)和第二压块(414)可在该导轨(415)上滑动;工作时,所述第一夹料动力源(411)和第二夹料动力源(412)可同时分别驱动所述第一压块(413)和第二压块(414)沿导轨(415)滑动相互靠近或者远离从而夹紧或者松开材料。
4.根据权利要求3所述的固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:所述前夹料机构(41)和后夹料机构(42)结构相同。
5.根据权利要求1或2所述的固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:所述前U型料槽(51)包括前U型料槽本体(511)和设置在该前U型料槽本体(511)上的进料感应器(512)。
6.根据权利要求5所述的固晶机/固阻机软灯带的进料机构,其特征在于:所述前U型料槽(51)和后U型导料槽(52)结构相同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





