[发明专利]载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种载置台装置，保持基板而移动，其特征在于，具有：

基座；

基板保持部，在比所述基座更靠上的位置保持所述基板；

多个调整部，设置于所述基座与所述基板保持部之间，为了调整所述基板保持部的基板保持面的形状，针对所述基板保持面的多个部位中的每个部位独立地从下方施加力；以及

多个紧固部，与所述多个调整部中的每个调整部对应地设置，使用紧固部件以夹入所述调整部的形态紧固所述基座和所述基板保持部。

2.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

所述多个紧固部中的每个紧固部被构成为能够切换控制为紧固所述基座和所述基板保持部的紧固状态、以及使所述基座和所述基板保持部的紧固释放的释放状态。

3.根据权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，

当在所述多个调整部中的至少1个调整部中进行调整的期间，将所述多个紧固部中的与所述至少1个调整部对应的至少1个紧固部切换为所述释放状态。

4.根据权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，

所述多个紧固部中的每个紧固部包括：

作为所述紧固部件的杆，连接所述基座和所述基板保持部；以及

驱动部，设置于所述基座，以牵引所述杆的方式进行驱动，通过由所述驱动部用预定的力牵引所述杆，得到所述紧固状态。

5.根据权利要求4所述的载置台装置，其特征在于，

所述多个调整部中的每个调整部包括：

可动部，与所述基板保持部接触而移动；

固定部，配置于所述基座，支撑所述可动部；以及

致动器，驱动所述可动部。

6.根据权利要求5所述的载置台装置，其特征在于，

所述杆与所述可动部同心状地配置。

7.根据权利要求6所述的载置台装置，其特征在于，

所述多个调整部中的每个调整部具有贯穿所述可动部以及所述固定部而连通所述基座和所述基板保持部的中空部，

所述杆配置于所述中空部的内部。

8.根据权利要求5所述的载置台装置，其特征在于，

所述可动部包括用于容许向与对所述基板保持部施加所述力的方向不同的方向的所述基板保持部的变位的倾斜机构。

9.根据权利要求5所述的载置台装置，其特征在于，

所述多个调整部中的每个调整部还具有在所述固定部之上通过所述致动器在水平方向上移动的楔块部件，

所述可动部伴随所述楔块部件的移动而向上方向移动。

10.根据权利要求5所述的载置台装置，其特征在于，

所述固定部形成有充满非压缩性流体的容器，

所述多个调整部中的每个调整部还具有对所述容器中充满的所述非压缩性流体的液面进行密封的隔板，

所述致动器被构成为将非压缩性流体送入到所述容器，

所述可动部伴随由于通过所述致动器将非压缩性流体送入到所述容器而引起的所述隔板的变形而向上移动。

11.根据权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，

还具有进行所述基板保持部相对所述基座的水平方向的定位的定位机构，

在将所述多个紧固部设为所述释放状态之后，通过所述定位机构进行所述定位，在进行所述定位之后，将所述多个紧固部设为所述紧固状态。