[发明专利]一种Al2O3陶瓷基片的制造方法

权利要求书

1.一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于制造步骤如下：

A.将基片原料进行球磨作业，制成基片粉料；

B.将基片粉料进行烘干，烘干后进行除铁；

C.将步骤B中得到的基片粉料与沾合剂进行混合成型；

D.将初步混合成型的粉料进行初碾；

E.将步骤D中初碾的粉料进行精碾，精碾过后进行尺寸检测；

F.待步骤E中尺寸检测合格之后进行冲片步骤；

G.对步骤F中冲片之后的初成片进行尺寸检测，将不合格的初成片选出；

H.对步骤G中得到的合格成片进行生烧，生烧之后进行尺寸检测,所述生烧的温度变化范围为：初始120度，到达最高温度1665度之后逐步降温到120度，生烧时间为56小时；

I.对步骤H中生烧过后尺寸合格的成片进行密度检测，密度检测合格之后进行除砂步骤；

J.对步骤I中合格除砂之后的成片进行筛选，之后进行压烧；

K.对步骤J中压烧完成的成片根据合格尺寸进行打磨；

L.对步骤K中得到的成片进行煅烧之后得到成品的Al2O3陶瓷基片。

2.根据权利要求1所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述步骤C中成型时间为50--55分钟。

3.根据权利要求1所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述步骤J中压烧分为四个阶段，压烧的温度范围为50--1200℃。

4.根据权利要求3所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述压烧温度详细控制为：第一阶段50--400℃/180分钟，第二阶段400--800℃/170分钟，第三阶段800--1200℃/170分钟，第四阶段1200℃保温360分钟。

5.根据权利要求1所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述步骤K中打磨具体为：磨片按规定磨削6面操作，先是初磨A面到精磨保留尺寸，磨B面同A面，精磨从D面开始磨到B面保留尺寸，然后磨 B面到规定尺寸，再磨C面，同D面最后磨A面到最终产品规定尺寸。

6.根据权利要求5所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述步骤K中打磨的具体规格为：初磨A、B面磨到40.8--41mm,精磨B、C面到40.4--40.5mm,进刀量每次0.02mm,精磨最后0.2mm时进刀量每次为0.01mm。

7.根据权利要求1所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述步骤K中煅烧分为四个阶段，煅烧温度范围为50--1150℃。

8.根据权利要求7所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述煅烧温度详细控制为：第一阶段50--400℃/170分钟，第二阶段400--700℃/160分钟，第三阶段700--1150℃/160分钟，第四阶段1150℃保温360分钟。

9.根据权利要求1所述一种Al2O3陶瓷基片的制造方法，其特征在于：所述基片生烧、压烧、煅烧时基片的放置规格为：60片每摞，每层10摞，每推板放置4层，每板共烧结2400片，每片之间采用粒径100µm左右的氧化铝粉敷粉均匀筛致生胚表面隔粘。