[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种能够减少噪声的产生、且发挥出卓越的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：角速度检测元件(4)、加速度检测元件(3)、对加速度检测元件(3)的检测信号进行传输的接合引线(BY1)、位于角速度检测元件(4)与接合引线(BY1)之间并与固定电位连接的屏蔽部(7)。此外，角速度检测元件(4)和加速度检测元件(3)以在高度方向上错开的方式而被配置，并且在角速度检测元件(4)和加速度检测元件(3)之间配置有屏蔽部(7)的至少一部分。

本申请为，申请号201610221727.1、申请日2016年4月11日、发明名称为物理量传感器、电子设备以及移动体的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，在专利文献1中，公开了一种将IC芯片、角速度检测元件、加速度检测元件重叠地收纳在封装件内所形成的复合传感器。然而，在像这样的结构中，存在有如下问题，即，角速度检测元件的驱动信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中，或者向IC芯片输入输出的数字信号作为噪声而混入加速度检测元件的检测信号中，从而导致检测精度降低的问题。

专利文献1：日本特开2008-76264号公报。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种能够降低噪声的产生而发挥卓越的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述的问题的至少一部分而形成的，且能够作为以下的应用例而实现。

应用例1

本应用例的一种物理量传感器的特征在于，具有：角速度检测元件；加速度检测元件；加速度检测信号配线，其对所述加速度检测元件的检测信号进行传输；屏蔽部，其位于所述角速度检测元件与所述加速度检测信号配线之间，并与固定电位连接。

由此，能够获得减少了噪声的产生、且能够发挥出卓越的检测精度的物理量传感器。

应用例2

在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在高度方向上错开的方式而被配置，在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

由此，能够进一步减少噪声的产生。

应用例3

在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在与所述高度方向正交的方向上错开的方式而被配置，在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

由此，能够进一步减少噪声的产生。

应用例4

在本应用例的物理量传感器中，优选为，在对所述角速度检测元件的驱动信号进行传输的驱动信号配线以及对检测信号进行传输的角速度检测信号配线之中的至少一方、和与所述加速度检测元件连接的所述加速度检测信号配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

由此，能够进一步减少噪声的产生。

应用例5

在本应用例的物理量传感器中，优选为，在所述驱动信号配线以及所述角速度检测信号配线之中的至少一方、和对向所述加速度检测元件施加的载波进行传输的载波配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

由此，能够进一步减少噪声的产生。

应用例6