[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

角速度检测元件；

加速度检测元件；

加速度检测信号配线，其对所述加速度检测元件的检测信号进行传输；

屏蔽部，其位于所述角速度检测元件与所述加速度检测信号配线之间，并与固定电位连接；

电路，其与所述角速度检测元件以及所述加速度检测元件电连接；

数字配线，其与所述电路连接，并对数字信号进行传输，

在俯视观察时，相对于所述电路的中心而在一侧配置有所述加速度检测信号配线，在另一侧配置有所述数字配线，

所述数字配线以对包含将所述检测信号转换成数字的信号而得到的输出信号在内的所述数字信号进行传输的方式被配置。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在高度方向上错开的方式而被配置，

在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

3.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

所述角速度检测元件与所述加速度检测元件以在与所述高度方向正交的方向上错开的方式而被配置，

在所述角速度检测元件与所述加速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

4.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

在对所述角速度检测元件的驱动信号进行传输的驱动信号配线以及对检测信号进行传输的角速度检测信号配线之中的至少一方、和与所述加速度检测元件连接的所述加速度检测信号配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

5.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，

在所述驱动信号配线以及所述角速度检测信号配线之中的至少一方、和对向所述加速度检测元件施加的载波进行传输的载波配线之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

6.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

在所述数字配线与所述角速度检测元件之间配置有所述屏蔽部的至少一部分。

7.如权利要求1或2所述的物理量传感器，具有：

支承基板，其对所述角速度检测元件进行支承，

在所述支承基板上配置有所述屏蔽部。

8.如权利要求1或2所述的物理量传感器，具有：

支承基板，其对所述角速度检测元件进行支承，

所述屏蔽部被与所述支承基板分体配置。

9.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1或2所述的物理量传感器。

10.一种移动体，其特征在于，具有权利要求1或2所述的物理量传感器。