[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，包含：

第1板；

第2板，结合到所述第1板的下部；

上部导引板，设置到所述第1板的上表面；以及

下部导引板，设置到所述第2板的下表面；且

所述上部导引板及所述下部导引板中的至少一者包含阳极氧化膜材质，

所述上部导引板及所述下部导引板的面积小于所述第1板及所述第2板的面积，因此所述第1板及所述第2板的表面露出。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

在设置在所述第1板的所述上表面的上部安装区域设置有所述上部导引板，

在设置在所述第2板的所述下表面的下部安装区域设置有所述下部导引板。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，

所述上部安装区域在所述第1板的所述上表面形成为凹槽，

所述下部安装区域在所述第2板的所述下表面构成为凹槽。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

包含设置在所述第1板的第1贯通孔、及与所述第1贯通孔对应地设置在所述第2板的第2贯通孔，

在所述第1贯通孔及所述第2贯通孔的内部定位有多个探针。

5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

包含补强板，所述补强板与所述上部导引板及所述下部导引板的至少一面结合。

6.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

所述补强板具备供多个探针定位的切割槽。

7.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述第1板及所述第2板由金属材质制成。

8.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述第1板及所述第2板由陶瓷材质制成。

9.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

所述补强板由Si₃N₄材质制成。

10.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

所述补强板由陶瓷材质制成。

11.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述上部导引板及所述下部导引板中的至少一者是由多个阳极氧化膜积层而成。

12.一种探针卡，其特征在于，包含：

第1板，具备第1贯通孔；

第2板，结合到所述第1板的下部，具备第2贯通孔；

上部导引板，设置到所述第1板的上表面，具备供探针插入的上部导孔；

下部导引板，设置到所述第2板的下表面，具备供所述探针插入的下部导孔；

上部补强板，设置到所述第1板与所述上部导引板之间，具备上部切割槽；以及

下部补强板，设置到所述第2板与所述下部导引板之间，具备下部切割槽；且

所述第1板及所述第2板位于所述上部导引板及所述上部补强板与所述下部导引板及所述下部补强板之间，支撑所述上部导引板及所述上部补强板与所述下部导引板及所述下部补强板，

所述上部导引板及所述上部补强板与所述下部导引板及所述下部补强板的面积小于所述第1板及所述第2板，因此所述第1板及所述第2板的表面露出。