[发明专利]治具、曲面结构件、曲面结构件镀膜方法及镀膜装置在审
| 申请号: | 202010968670.8 | 申请日: | 2020-09-15 |
| 公开(公告)号: | CN112095086A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
| 发明(设计)人: | 刘欣;张志丹;高孝裕 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 曲面 结构件 镀膜 方法 装置 | ||
1.一种治具,用于曲面结构件的处理加工,其特征在于,所述治具包括具有卡槽的支撑体和设置于所述支撑体的吸附组件,所述卡槽包括弧形底面和侧面,所述弧形底面与所述曲面结构件的轮廓相匹配,所述侧面与所述弧形底面呈预设角度连接;
所述吸附组件包括贯穿所述弧形底面设置的吸附孔,所述吸附组件用于提供吸附力,以使待加工曲面结构件贴合固定于所述卡槽。
2.根据权利要求1所述的治具,其特征在于,所述弧形底面在所述支撑体的宽度方向上具有相继分布的第一弯曲部、平面部和第二曲弯部,所述侧面分别与所述第一弯曲部和第二曲弯部连接,并且加工过程中所述待加工曲面结构件贴附于所述弧形底面且所述待加工曲面结构件的边缘抵接于所述侧面。
3.根据权利要求2所述的治具,其特征在于,所述侧面具有相对的第一边缘和第二边缘,所述第一边缘位于所述弧形底面,所述第一边缘与所述第二边缘之间的最小距离小于等于所述待加工曲面结构件的厚度。
4.根据权利要求3所述的治具,其特征在于,所述支撑体还包括与所述第二边缘向连接的弧形面,所述弧形面的曲度与所述待加工曲面结构件的边缘曲度相同。
5.根据权利要求2所述的治具,其特征在于,所述吸附组件中的所述吸附孔阵列排布形成第一吸附孔组和第二吸附孔组,所述第一吸附孔组和所述第二吸附孔组均位于所述平面部上,所述第一吸附孔组和所述第二吸附孔组间隔设置,以对应吸附不同的所述待镀膜件。
6.根据权利要求1所述的治具,其特征在于,所述支撑体内部设有吸附管道,所述吸附孔与所述吸附管道连通设置。
7.根据权利要求1所述的治具,其特征在于,所述支撑体为柔性基材,优选的为硅胶基材。
8.一种曲面结构件镀膜方法,其特征在于,包括:
提供治具,所述治具为如权利要求1至7任一项所述的治具;
将所述待镀膜曲面结构件置于所述支撑体的所述卡槽,将所述待镀膜曲面结构件的边缘抵接于所述卡槽的所述侧面;
通过设置于所述支撑体的所述吸附组件吸附所述待镀膜曲面结构件,以使所述待镀膜曲面结构件的与所述支撑体相对的表面与所述弧形底面接触贴合;
对所述待镀膜曲面结构件进行镀膜。
9.一种曲面结构件,其特征在于,包括:
曲面盖板,具有相背的第一曲形表面和第二曲形表面;
所述曲面盖板通过所述第二曲形表面贴合于权利要求1至7任一项所述的治具的弧形底面;
防指纹膜,覆盖于所述第一曲形表面。
10.一种镀膜装置,其特征在于,包括:
治具,所述治具为权利要求1至7任一项所述的治具;
真空吸附组件,与所述治具的吸附组件连接。
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