[发明专利]基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置及系统

权利要求书

1.一种基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述装置包括：壳体、激光器、探测器、第一透光板、第二透光板和弹性件；所述壳体内部为密封空间，所述激光器、所述探测器、所述第一透光板、所述第二透光板和所述弹性件均设置在所述壳体的密封空间内，所述弹性件一端连接所述第一透光板，另一端连接在所述壳体的密封空间的一端，将所述第一透光板垂直于所述壳体的密闭空间的一端悬空设置，所述第二透光板设置在所述密闭空间内部，且平行于所述第一透光板，所述第一透光板与所述第二透光板相对面的表面积小于所述壳体的密闭空间的横截面面积，所述激光器和所述探测器均设置在所述密封空间的另一端，所述激光器的光路与所述第一透光板和所述第二透光板垂直，所述探测器用于检测所述第一透光板透射光的干涉光谱。

2.根据权利要求1所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述第一透光板和所述第二透光板的材料均为玻璃材料。

3.根据权利要求2所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述第一透光板靠近所述第二透光板的一侧镀有全反射膜。

4.根据权利要求3所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述第二透光板靠近所述第一透光板的一侧镀有高反射膜。

5.根据权利要求4所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述第一透光板和所述第二透光板均为凹面镜，且凹面相对设置。

6.根据权利要求1所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧和弹片中任意一种。

7.根据权利要求6所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述弹性件的数量为多组。

8.根据权利要求1所述的基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测装置，其特征在于，所述装置还包括信号传输装置，所述信号传输装置用于将所述探测器检测的干涉光谱进行输出。

9.一种基于法布里-珀罗谐振腔的振动检测系统，其特征在于，所述系统包括：计算机和权利要求1-8任意一项所述的装置，所述计算机用于接收所述探测器探测的干涉光谱，并根据干涉光谱的变化与振动的对应关系，得到待测振动信息。