[发明专利]一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、通过聚焦离子束(FIB)技术把微悬臂探针的前端切割成平台；

步骤2、将用于制备探针的微球颗粒均匀分散在硅片上；

步骤3、将机械手轻轻接触微球颗粒，使微球颗粒吸附到机械手表面；

步骤4、移动机械手使其靠近探针表面，使微球颗粒吸附在探针表面；

步骤5、利用离子源把微球颗粒固定在探针表面。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤1中的微悬臂探针的微悬臂是带有针尖的微悬臂、三角形的微悬臂或者矩形的微悬臂。

3.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤1中的平台的宽度是所述微球颗粒直径的1～2倍。

4.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤2具体包括以下步骤：

步骤2.1、将用于制备探针的微球颗粒依次置于丙酮、乙醇溶液中进行超声清洗，清洗后的微球颗粒放置在乙醇或者水分散液中保存备用；

步骤2.2、将抛光硅片依次放在丙酮、乙醇和去离子水中进行超声清洗，最后用纯净氮气把清洗后的硅片吹干，备用；

步骤2.3、取一滴步骤2.1得到的带微球颗粒的分散液，滴在步骤2.2处理的硅片上，干燥后待用。

5.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤3中，微球颗粒通过静电作用吸附在机械手表面。

6.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤4中，微球颗粒通过静电作用转移吸附在探针表面。

7.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，微球颗粒均匀分散在硅片上应使微球颗粒粘接到探针上时微球颗粒之间不相互影响。

8.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述微球颗粒是100～1000nm大小的球状或者片层颗粒。

9.如权利要求8所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述微球颗粒为二氧化硅小球或者有机药物颗粒。

10.一种如权利要求1所述的制备方法获得的原子力显微镜用亚微米探针。