[发明专利]玻璃微粒子堆积体的制造方法及燃烧器

说明书

本发明是一种玻璃微粒子堆积体的制造方法，在反应容器内设置起动杆及燃烧器，将玻璃原料导入到燃烧器，使玻璃原料在燃烧器所形成的火焰内进行火焰水解反应而生成玻璃微粒子，并使所生成的玻璃微粒子堆积于起动杆，从而制造玻璃微粒子堆积体；所述玻璃微粒子堆积体的制造方法包括：在所述燃烧器的最外管外周设置固定辅具，将燃烧器外罩从所述燃烧器的最外管前端插入，使所述固定辅具的一部分夹在该燃烧器外罩与所述燃烧器的最外管之间进行压缩，由此将所述燃烧器外罩固定于所述燃烧器，进而，未被压缩的所述固定辅具的一部分的外径大于插入到所述燃烧器的最外管前端的所述燃烧器外罩的一部分的内径。

技术领域

本发明涉及一种利用OVD法(外部气相沉积法)、VAD法(气相轴向沉积法)、MMD法(多燃烧器多层沉积法)等使玻璃微粒子堆积于起动杆而制造玻璃微粒子堆积体的玻璃微粒子堆积体的制造方法及燃烧器。

背景技术

一直以来，在熟知的利用OVD法制造光纤母材的制造装置中，在反应容器内设置起动杆及用于玻璃微粒子生成的燃烧器，向该燃烧器供给SiCl₄等原料气体，并使在燃烧器所形成的火焰内利用火焰水解反应生成的玻璃微粒子堆积在起动杆的周围，从而形成玻璃微粒子堆积体。

已知在这种玻璃微粒子堆积体的制造方法中，为了防止玻璃微粒子附着在石英玻璃制燃烧器的前端、防止燃烧器前端因劣化导致形状变化，或为了控制燃烧器火焰的流动，而将装卸式燃烧器外罩(燃烧器罩)套在燃烧器的前端(参照文献1、2、3、4)。

另外，已知随着玻璃微粒子堆积体的生长而改变燃烧器的位置或角度的技术。(参照文献5、6)

[背景技术文献]

[专利文献]

[文献1]日本专利实开昭63-110535号公报；

[文献2]日本专利实开昭63-81828号公报；

[文献3]日本专利特开2010-96378号公报；

[文献4]日本专利特开2006-199527号公报；

[文献5]日本专利特开2017-071513号公报；

[文献6]日本专利第6505188号。

发明内容

[发明要解决的问题]

燃烧器及燃烧器外罩多为耐热性及耐腐蚀性优异的石英玻璃制。石英玻璃制燃烧器多由人工焊接石英玻璃制圆管而制作，另外，对于石英玻璃制圆管本身也会利用加热拉伸调整内外径来进行制作，因此各燃烧器的个体间容易产生形状差异。因此，常见的是，即便将燃烧器外罩套在燃烧器上，也无法获得燃烧器外罩的位置的再现性的情况。具体地说，燃烧器外罩并未固定在燃烧器的特定位置，有时套入得过深，有时则相反，仅套入到近前位置。因此，燃烧器火焰的状态在各燃烧器的个体间各不相同，玻璃微粒子堆积体的形状容易产生差异。

进而，制造玻璃微粒子堆积体的过程中，存在当改变燃烧器位置或角度时(参照文献5、6等)，燃烧器外罩从特定位置偏移的问题。

关于文献1中记载的燃烧器，虽然利用特富龙带等固定材将燃烧器外罩固定于燃烧器，但是固定材无法支撑燃烧器外罩，在反复进行玻璃微粒子堆积体的制造时燃烧器外罩的位置发生偏移，导致难以获得火焰状态的再现性。

关于文献2中记载的燃烧器，以直径与燃烧器外罩的内径相同的方式将耐热性带卷绕在燃烧器的最外管，并将燃烧器外罩安装在此处，然后，以利用固定用带材覆盖已安装的燃烧器外罩的根部与卷绕在燃烧器的耐热性带的露出部的方式，将固定用带材进行卷绕，从而将燃烧器外罩固定于燃烧器，但是由于利用固定用带材将燃烧器外罩固定得较牢，因此无法将燃烧器外罩从燃烧器取下并进行更换，为了清理燃烧器外罩，必须将燃烧器本身从装置取下来进行更换。