[发明专利]基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法

权利要求书

1.一种基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法，其特征在于，包括：

将待加工样品用乙醇水溶液超声清洗后晾干；

然后将所述待加工样品固定放置于容器中，容器固定在六维平移台的中心；

配制体积百分比为30％的乙醇水溶液，静置等待溶液中的气泡全部消失，然后将其加入到所述容器中直至没过所述待加工样品上表面；

飞秒激光系统产生飞秒激光后，利用能量调节装置调整激光能量，并使出射飞秒激光的偏振方向为水平；

调节后的光束经过反射镜垂直入射到水浸物镜，通过水浸物镜聚焦，并使焦点位于所述待加工样品的下表面以下；

控制六维平移台移动，使透过所述水浸物镜的焦斑光束与所述待加工样品做相对运动，使飞秒激光进行特定轨迹的扫描烧蚀，从而实现在所述待加工样品上加工复杂三维微孔。

2.如权利要求1所述的基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法，其特征在于，所述飞秒激光的脉冲频率为1000Hz，单个脉冲能量为0.5-20μJ，聚焦前束腰直径为4-7mm，扫描速度为0.4μm/s-1μm/s。

3.如权利要求1所述的基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法，其特征在于，所述飞秒激光系统、所述能量控制装置和机械快门依次平行、同轴放置，所述飞秒激光系统产生的飞秒激光经过所述能量控制装置和所述机械快门后，再经过所述反射镜垂直入射到所述水浸物镜上。

4.如权利要求1-3任一项所述的基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法，其特征在于，所述待加工样品为硼硅玻璃。

5.如权利要求1-3任一项所述的基于激光与液体相互作用调控的复杂三维微孔加工方法，其特征在于，所述飞秒激光器为钛蓝宝石激光器，中心波长800nm，脉冲宽度35fs，重复频率最高1000Hz，最大单脉冲能量为7mJ，光场分布为高斯分布。