[发明专利]封装件及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202010879929.1 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN113053757A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 许佳桂;游明志;林柏尧;陈硕懋;许峯诚;郑心圃 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/498;H01L21/60
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 封装 及其 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种形成封装件的方法,包括:

形成再分布结构,包括:

在载体上方形成多个介电层;

形成延伸到所述多个介电层中的多条再分布线;和

在所述载体上方形成增强贴片;

将第一封装组件接合至所述再分布结构,其中,所述第一封装组件包括与所述增强贴片的部分重叠的外围区域;以及

使所述再分布结构和所述第一封装组件从所述载体脱粘。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括在所述第一封装组件和所述再分布结构之间分配底部填充物,其中,所述底部填充物接触所述增强贴片。

3.根据权利要求1所述的方法,还包括:在所述脱粘之后,形成附加增强贴片,其中,所述增强贴片和所述附加增强贴片位于所述多个介电层的相对侧上。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,形成所述再分布结构还包括:

形成延伸到所述多个介电层的一个中的多个凸块下金属,其中,所述增强贴片和所述多个凸块下金属以共同工艺形成,并且其中,所述第一封装组件接合至所述多个凸块下金属。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,形成所述增强贴片包括镀。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述脱粘之后,将所述增强贴片完全封闭在介电材料中。

7.根据权利要求1所述的方法,还包括将第二封装组件接合至所述再分布结构,其中,所述增强贴片包括:

第一部分,与所述第一封装组件重叠;

第二部分,与所述第二封装组件重叠;以及

第三部分,将所述第一部分连接至所述第二部分。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述增强贴片具有网格图案。

9.一种封装件,包括:

再分布结构,包括:

多个介电层;

多条再分布线,延伸到所述多个介电层中;和

增强贴片,与所述多个介电层重叠,其中,所述增强贴片包括金属材料;

第一封装组件,位于所述再分布结构上方并且接合至所述再分布结构;以及

底部填充物,位于所述再分布结构和所述第一封装组件之间,其中,所述底部填充物接触所述增强贴片。

10.一种封装件,包括:

再分布结构,包括:

多个介电层;

多条再分布线,延伸到所述多个介电层中;和

增强贴片,接触所述多个介电层中的一个,其中,所述增强贴片是电浮置的;以及

封装组件,接合至所述再分布结构,其中,所述增强贴片包括与所述封装组件的拐角部分重叠的第一部分。

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