[发明专利]用于光热反射显微热成像的漂移修正方法及装置有效

专利信息
申请号: 202010870967.0 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN112067136B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 刘岩;吴爱华;荆晓冬;马春雷;杜蕾 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G01J5/00 分类号: G01J5/00;G01J5/08
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 用于 光热 反射 显微 成像 漂移 修正 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,采用改进的光热反射显微热成像装置,所述改进的光热反射显微热成像装置包括:在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置;所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和分束器之间,且位于所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜的焦面上;所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上,用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像;所述原光热反射显微热成像装置包括:光源、散射片、准直透镜、分束器、检测台、被测物、物镜、结像透镜和相机传感器,光源置于散射片前面,置于散射片后的准直透镜进行准直处理,形成光路,检测台、被测物、物镜、结像透镜和相机传感器构成成像通路,与光路垂直,分束器位于所述光路和成像通路的交点上,所述分束器位于所述调制片后面、所述原光热反射显微热成像装置中的物镜和结像透镜之间,且与水平面成预设角度倾斜设置,被测物置于检测台上方,物镜设置在被测物上方,结像透镜置于物镜上方,相机传感器置于结像透镜上方,物镜和结像透镜配合形成一个倒立放大的像;

所述用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,包括:

获取遮断物镜侧光路采集的第一图像;

对所述第一图像去除直流分量后进行高通滤波,得到第二图像;

去掉物镜侧光路上的遮挡,采集被测物分别在参考时刻的参考图像和除所述参考时刻之外的任意时刻的待修正图像,并根据所述参考图像和所述待修正图像,确定温度升高发生的区域;

根据所述温度升高发生的区域确定温度未发生变化的区域,在所述温度未发生变化的区域,根据所述第二图像、所述参考图像和所述待修正图像计算修正系数;

根据所述修正系数修正所述待修正图像的所有像素,得到修正后的图像。

2.如权利要求1所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,所述调光装置包括:衰减片和反射镜;

所述衰减片和所述反射镜分别设置在所述分束器直通路上,且所述衰减片位于所述反射镜前面。

3.如权利要求2所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,所述对所述第一图像去除直流分量后进行高通滤波,得到第二图像,包括:

根据对所述第一图像去除直流分量;

根据h'(x,y)=HPF{h(x,y)}进行高通滤波,得到第二图像;

其中,h(x,y)表示去除直流分量后的第一图像,c0(x,y)表示第一图像,L表示遮断物镜侧光路采集的被测物的图像的全画面,N表示L内的像素总数,h'(x,y)表示第二图像。

4.如权利要求3所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,

当所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和准直透镜之间时,所述根据所述参考图像和所述待修正图像,确定温度升高发生的区域,包括:

根据所述参考图像和所述待修正图像的相同位置对应的像素,确定温度升高的像素,并根据所述温度升高的像素确定温度升高发生的区域。

5.如权利要求3所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,

当所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间时,所述根据所述参考图像和所述待修正图像,确定温度升高发生的区域,包括:

根据所述参考图像和所述待修正图像的相同位置对应的像素,确定温度升高的像素;根据所述温度升高的像素进行傅里叶变换,得到所述温度升高的像素对应的频率分布,根据所述频率分布确定温度升高发生的频率区域。

6.如权利要求4所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法,其特征在于,当所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和准直透镜之间时,所述在所述温度未发生变化的区域,根据所述第二图像、所述参考图像和所述待修正图像计算修正系数,包括:

根据计算修正系数;

其中,f表示修正系数,cr(x,y)表示参考图像,cx(x,y)表示待修正图像,P表示温度未发生变化的区域。

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