[发明专利]一种半导体烘箱氮气调节装置

说明书

本发明属于半导体烘箱技术领域，尤其是一种半导体烘箱氮气调节装置，针对没有对氮气进行加热的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器。本发明通过设置有加热器、电子气泵、加热箱、喷气盘、喷头、第五导管、第四导管、第一电磁阀和第二电磁阀，在对半导体进行烘干时，打开加热器和电子气泵，将加热后的氮气导入到烘干箱中，既可以起到对半导体进行烘干的作用又可以防止半导体被氧化。

技术领域

本发明涉及半导体烘箱技术领域，尤其涉及一种半导体烘箱氮气调节装置。

背景技术

目前，在半导体生产时，需要对半导体半成品进行干燥，半导体半成品在空气中干燥极容易发生氧化，因此，工业生产时，在烘箱内加入氮气以防止半导体半成品氧化。

经检索，中国专利授权号为CN104896908B的专利，公开了一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架、内胆、进气接口、氮气调节阀、风机、托盘。

上述专利还存在有以下不足之处：在将氮气导入到烘箱时，刚释放出来的氮气的温度较低，会降低烘箱内部的温度，导致半导体烘干的效果较差，不能够很好的对半导体进行烘干，降低了烘箱的烘干质量。

发明内容

基于背景技术中提出的在将氮气导入到烘箱时，刚释放出来的氮气的温度较低，会降低烘箱内部的温度，导致半导体烘干的效果较差，不能够很好的对半导体进行烘干，降低了烘箱的烘干质量的技术问题，本发明提出了一种半导体烘箱氮气调节装置。

本发明提出的一种半导体烘箱氮气调节装置，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器，所述烘干箱的内壁两侧均设置有喷气盘，且喷气盘的一侧外壁设置有等距离分布的喷头，喷头的倾斜角度各不相同，所述喷气盘的一侧内壁设置有第二导管，且第二导管的另一端设置于电子气泵的输出端，所述烘干箱的一侧内壁设置有第五导管，且第五导管的另一端通过三通管连接有两个规格相同的第四导管，第四导管的一侧外壁分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀。

优选地，所述烘干箱的顶部内壁设置有温度传感器，且烘干箱的一侧外壁设置有显示屏，显示屏的信号输入端通过信号线连接有处理器，温度传感器的信号输出端和处理器的信号输入端通过信号线相连接。

优选地，所述烘干箱的底部内壁两侧均设置有风机，且风机均为倾斜结构。

优选地，所述烘干箱的内壁设置有等距离分布的透气放置板，且透气放置板的顶部外壁设置有大小规格不同的半导体放置槽。

优选地，所述加热箱的顶部外壁设置有电机，且电机的输出轴通过联轴器连接有转杆，转杆的外壁两侧均设置有不规则分布的横杆，横杆的另一端设置有第一搅拌杆。

优选地，所述第一搅拌杆为弧形结构，且第一搅拌杆的一侧外壁设置有连接板。

优选地，所述连接板为折线形结构，且连接板的一侧外壁开设有等距离分布的大小不同的过滤孔。

优选地，所述横杆的一侧外壁设置有连接杆，且连接杆的一侧外壁设置有大小规格相互交错分布的搅拌块，连接杆的另一侧外壁设置有Y形搅拌杆。

优选地，所述横杆的一侧外壁设置有搅拌环，且横杆的一侧外壁设置有开口方向相反的弧形杆，搅拌环为三角形的环状结构。

优选地，还包括设置于烘干箱一侧内壁的阻流箱，所述阻流箱的顶部外壁和底部外壁分别开设有等距离分布的出气口和进气口，且阻流箱的内壁设置有等距离分布的阻流通道，阻流通道为折线形结构。