[发明专利]一种半导体工艺设备中工艺任务的启动方法、装置

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中工艺任务的启动方法，其特征在于，所述半导体工艺设备包括依次设置的多个工艺单元，所述多个工艺单元划分为多个工艺区域，所述多个工艺区域依所述多个工艺单元的排列次序组合成多个工艺区域组，所述方法包括：

生成所述半导体工艺设备当前工艺任务的工艺区域关系列表，其中，所述当前工艺任务的工艺区域关系列表中包括所述当前工艺任务涉及的所有工艺区域组的工艺区域组标识；

确定所有待启动工艺任务，生成每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表，其中，所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表包括所述待启动工艺任务涉及的所有工艺区域组的工艺区域组标识；

基于所述当前工艺任务的工艺区域关系列表和每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表，按第一预设规则确定所有所述待启动工艺任务中是否包括可启动工艺任务；

当所有所述待启动工艺任务中包括所述可启动工艺任务时，按第二预设规则从所有所述可启动工艺任务选择出目标可启动工艺任务，并启动所述目标可启动工艺任务。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所有待启动工艺任务，生成每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表，包括：

当所述当前工艺任务涉及所述多个工艺区域中的一个预设工艺区域时，确定所述当前工艺任务中所述预设工艺区域对应的串并类型；

确定所有所述待启动工艺任务中涉及所述预设工艺区域的待启动工艺任务；

确定每一个涉及所述预设工艺区域的所述待启动工艺任务中所述预设工艺区域对应的串并类型；

将涉及所述预设工艺区域的且所述预设工艺区域对应的串并类型与所述当前工艺任务中所述预设工艺区域对应的串并类型相匹配的待启动工艺任务确定为目标待启动工艺任务；

生成每一个所述目标待启动工艺任务的工艺区域关系列表。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述当前工艺任务的工艺区域关系列表和每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表，按第一预设规则确定所有所述待启动工艺任务中是否包括可启动工艺任务，包括：

基于所述当前工艺任务的工艺区域关系列表和每一个所述目标待启动工艺任务的工艺区域关系列表，按所述第一预设规则确定所有所述目标待启动工艺任务中是否包括可启动工艺任务。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二预设规则包括：

从所有所述可启动任务中选择等待时间最长的可启动任务作为所述目标可启动任务。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述当前工艺任务为以下之一：所述半导体工艺设备正在执行的工艺任务、所述半导体工艺设备新启动的工艺任务。

6.根据权利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，所述生成所述半导体工艺设备当前工艺任务的工艺区域关系列表，包括：

为每个所述工艺区域设置工艺区域标识；

依所述多个工艺单元的排列次序对所述工艺区域标识进行组合，得到每个所述工艺区域组的工艺区域组标识，并生成包含所有所述工艺区域组标识的工艺区域组标识列表；

将每一所述工艺区域组标识赋值为初始值，其中，所述初始值用于指示该工艺区域组标识对应的工艺区域组不存在；

根据所述当前工艺任务涉及的工艺区域组及其状态，将所述工艺区域组标识列表中对应的工艺区域组标识赋值为正序值或逆序值，得到所述当前工艺任务的工艺区域关系列表，其中，所述正序值用于指示该工艺区域组标识对应的工艺区域组存在且处于正序状态，所述逆序值用于指示该工艺区域组标识对应的工艺区域组存在且处于逆序状态。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述生成每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表，包括：

根据每一个所述待启动工艺任务涉及的工艺区域组及其状态，将所述工艺区域组标识列表中对应的工艺区域组标识赋值为正序值或逆序值，得到每一个所述待启动工艺任务的工艺区域关系列表。