[发明专利]电子探测板与光电探测模块在审
| 申请号： | 202010788160.2 | 申请日： | 2020-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112462219A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈显德 | 申请（专利权）人： | 优显科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐东升 |
| 地址： | 中国台湾台北市信*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 探测 光电 模块 | ||
1.一种电子探测板，包括：
基板结构，具有电路图层；该电路图层具有阵列式的多个电路单元；以及
阵列式的多个探测单元，设置于所述基板结构的一面；各个所述探测单元对应各所述电路单元，各个所述探测单元设有电连接至各所述电路单元的至少一个弹性导电柱。
2.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，所述基板结构包括玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，所述基板结构的所述电路图层包括有源薄膜晶体管矩阵。
4.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱为导电式光阻。
5.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱包括非导电式光阻以及覆盖该非导电式光阻的导电层。
6.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱定义有1-20微米的高度。
7.根据权利要求6所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱定义有1-10微米的高度。
8.根据权利要求1所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱具有接触面，所述接触面定义有0.1-20微米的宽度或直径。
9.根据权利要求8所述的电子探测板，其中，各个所述弹性导电柱的所述接触面定义有0.1-8微米的宽度或直径。
10.一种光电探测模块，包括：
根据权利要求1-9中任一项所述的电子探测板；以及
阵列式的多个影像侦测单元，以预定距离与所述电子探测板间隔设置；其中，所述影像侦测单元个别对应所述电子探测板的所述探测单元，各个所述影像侦测单元朝所对应的各个所述探测单元撷取至少一个影像参数。
11.一种光电探测模块，包括：
根据权利要求1-9中任一项所述的电子探测板；以及
一列多个影像侦测单元，以预定距离与所述电子探测板间隔设置；其中，该列影像侦测单元对应所述电子探测板的所述探测单元中的其中一列，该列影像侦测单元中的各个所述影像侦测单元朝所对应列的各个所述探测单元撷取至少一个影像参数。
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