[发明专利]保护部件形成方法和保护部件形成装置

权利要求书

1.一种保护部件形成方法，在正面具有凹凸的基板的该正面上形成保护部件，其特征在于，

该保护部件形成方法具有如下的步骤：

树脂膜密接步骤，利用树脂膜覆盖该基板的该正面，使该树脂膜以仿照该基板的该正面的该凹凸的方式与该基板密接；

液状树脂提供步骤，向与该基板密接的该树脂膜的上表面的与该基板重叠的区域提供能够硬化的液状树脂；

按压步骤，利用覆盖膜覆盖被提供到该树脂膜的该上表面的该液状树脂，隔着该覆盖膜而利用平坦的按压面按压该液状树脂，使该液状树脂在该树脂膜上扩展；以及

硬化步骤，使在该按压步骤中在该树脂膜上扩展的该液状树脂硬化，从而在该基板的该正面上形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖膜的保护部件。

2.根据权利要求1所述的保护部件形成方法，其特征在于，

该保护部件形成方法还具有如下的外周剩余部切断步骤：在实施了该硬化步骤之后，沿着该基板的外周切断该保护部件。

3.一种保护部件形成装置，其在正面具有凹凸的基板的该正面上形成保护部件，其特征在于，

该保护部件形成装置具有：

树脂膜密接单元，其具有基板支承部和排气部，该基板支承部对该基板进行支承，该排气部能够对通过利用树脂膜覆盖被该基板支承部支承的该基板而形成的空间进行排气，该树脂膜密接单元通过使该排气部进行动作而对该空间进行排气并减压，使该树脂膜以仿照该基板的该正面的该凹凸的方式与该正面密接；

支承工作台，其在使该树脂膜向上方露出的状态下对该树脂膜所密接的该基板进行支承；

液状树脂提供单元，其具有喷出能够硬化的液状树脂的喷嘴，从该喷嘴向与该支承工作台所支承的该基板密接的该树脂膜的上表面提供该液状树脂；

按压单元，其具有平坦的按压面，该按压单元一边利用覆盖膜覆盖由该液状树脂提供单元提供的该液状树脂，一边隔着该覆盖膜而利用该按压面按压该液状树脂，使该液状树脂在该树脂膜上扩展；以及

硬化单元，其使被该按压单元扩展后的状态的该液状树脂硬化，从而在该基板的该正面上形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖膜的保护部件。

4.根据权利要求3所述的保护部件形成装置，其特征在于，

该保护部件形成装置还具有搬送单元，该搬送单元在保持着该树脂膜在该基板的外侧展开的状态下将该树脂膜所密接的该基板从该基板支承部搬送至该支承工作台，

该搬送单元具有：

非接触式吸引垫，其朝向该基板的该正面喷射流体并且产生负压；

吸引垫，其在该基板的该外侧对该树脂膜进行吸引保持；

基台部，其固定有该非接触式吸引垫和该吸引垫；以及

移动机构，其使该基台部移动，

该非接触式吸引垫和该吸引垫能够相互独立地进行动作。

5.根据权利要求4所述的保护部件形成装置，其特征在于，

该保护部件形成装置还具有切断单元，该切断单元具有：

工作台，其对在该正面上形成有该保护部件的该基板进行支承；

切断部，其切断该保护部件；以及

切断部移动单元，其使该切断部沿着该基板的外周移动，

通过利用该切断部移动单元使该切断部沿着被该工作台支承的在该正面上形成有该保护部件的该基板的该外周移动，能够沿着该基板的该外周切断该保护部件。