[发明专利]一种用于半导体模块封装的视觉检测设备在审
| 申请号： | 202010738043.5 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111863651A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王芳;刘连桥;王忠平 | 申请（专利权）人： | 昆山嘉斯特自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 模块 封装 视觉 检测 设备 | ||
1.一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定有缸体(11)，所述缸体(11)的活塞杆上固定有第一环形板(12)，所述第一环形板(12)上设置有环形槽(13)，所述环形槽(13)内滑动设置有滑块(14)，所述滑块(14)上固定有第二环形板(15)，所述第二环形板(15)上固定有支撑杆(16)，所述支撑杆(16)上固定有支撑板(17)，所述支撑板(17)上固定嵌入有灯珠(18)，所述支撑板(17)还固定有摄像头(19)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述滑块(14)上设置有球槽(2)，球槽(2)内滚动设置有滚珠(21)，滚珠(21)滚动接触环形槽(13)的内壁。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述第一环形板(12)上固定有电机(3)，电机(3)的转轴上固定有驱动锥齿轮(31)。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述第二环形板(15)上固定有联动锥齿轮(32)，联动锥齿轮(32)与驱动锥齿轮(31)啮合设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述支撑杆(16)上设置有对位槽(4)，所述支撑板(17)上固定有对位块(41)，对位块(41)与对位槽(4)滑动插入设置。
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述对位块(41)上设置有凹槽(42)，凹槽(42)内滑动设置有卡销(43)，卡销(43)与凹槽(42)通过弹簧(44)连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述对位槽(4)内连通有通孔(45)，所述卡销(43)与通孔(45)弹入设置。
8.根据权利要求1所述的一种用于半导体模块封装的视觉检测设备，其特征在于：所述底座(1)上固定有支架固定有操作台(5)，操作台(5)为圆盘结构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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