[发明专利]全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 202010725697.4 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN111834487B 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 朱卫东;柴文明;张春福;陈大正;张进成;郝跃 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01L31/115 分类号: H01L31/115;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/0224;H01L31/18;B82Y30/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 无机 钙钛矿 纳米 自供 短波 光电 探测器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1,清洗FTO导电玻璃衬底:将FTO导电玻璃衬底超声清洗;

步骤2,UV-zone处理FTO导电玻璃衬底:将清洗过的FTO导电玻璃衬底放在UV-zone中处理;

步骤3,制备电子传输层:将配置好的TiO2溶胶前驱体旋涂在处理好的FTO导电玻璃衬底上,将旋涂好的TiO2薄膜退火,得到致密的TiO2电子传输层;

步骤4,钙钛矿光吸收层的溶液法制备:

1)将PbI2前驱体溶液滴在制备好的FTO/ TiO2衬底上,按照不同的转速旋涂,将得到的PbI2前驱体薄膜退火,冷却至室温;

2)将CsCl溶液滴在一定旋涂速度的涂有PbI2薄膜衬底中心,退火,薄膜上长出微米级的CsPbIxCl3-x钙钛矿纳米线结构,得到钙钛矿光吸收层;

步骤5,制备空穴传输层:

将空穴传输层材料Spiro-MeOTAD混合物溶液、PTAA、P3HT、CuI、NiOx或MoOx中的一种或多种在室温条件下旋涂在钙钛矿吸收层上,得到空穴传输层;

步骤6,制备电极:采用热蒸镀的方式在空穴传输层上沉积金属电极,或直接采用丝网印刷技术在钙钛矿层上沉积碳电极,得到光电探测器。

2.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,以2000-4000 rpm的转速旋涂在处理好的FTO导电玻璃衬底上,将旋涂好的TiO2薄膜在50-70 ℃预热20-30 min后,在120-200 min时间内从室温加热到450-500℃,退火40-60min;所述致密的TiO2电子传输层厚度为40-80 nm。

3.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4中,PbI2前驱体溶液是按照体积比将PbI2溶解于DMSO或DMF中制得;PbI2前驱体溶液浓度为0.5-1.2 mol/L。

4.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4-1)中,以1000-1500rpm的速度旋涂20-40 s,接着4000-5000 rpm 的速度旋转20-40 s;得到的PbI2前驱体薄膜,将得到的PbI2前驱体薄膜在150-250℃退火5min后,冷却至室温。

5.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4-2)中,将CsCl溶液滴在旋涂速度为4000-5000 rpm的涂有PbI2薄膜衬底中心,在200 ℃退火20-40 min;

所述CsCl溶液是将CsCl颗粒溶解于甲醇或异丙醇中制备浓度为2-8mg/L的溶液。

6.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤5中,Spiro-MeOTAD混合物溶液是按照质量比将4-8%的Spiro-MeOTAD、0.6-1.0%的锂盐Li-TFSI、2.0-2.4%的4-叔丁基吡啶t-BP和89-93%的氯苯混合搅拌24-36 h得到。

7.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,在室温条件下将空穴传输层材料旋涂在钙钛矿光吸收层上,旋涂速度为2000-4000rpm,时间为30-40s。

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