[发明专利]全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器及制备方法有效
| 申请号: | 202010725697.4 | 申请日: | 2020-07-24 |
| 公开(公告)号: | CN111834487B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
| 发明(设计)人: | 朱卫东;柴文明;张春福;陈大正;张进成;郝跃 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
| 主分类号: | H01L31/115 | 分类号: | H01L31/115;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/0224;H01L31/18;B82Y30/00 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
| 地址: | 710071 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 无机 钙钛矿 纳米 自供 短波 光电 探测器 制备 方法 | ||
1.一种全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,清洗FTO导电玻璃衬底:将FTO导电玻璃衬底超声清洗;
步骤2,UV-zone处理FTO导电玻璃衬底:将清洗过的FTO导电玻璃衬底放在UV-zone中处理;
步骤3,制备电子传输层:将配置好的TiO2溶胶前驱体旋涂在处理好的FTO导电玻璃衬底上,将旋涂好的TiO2薄膜退火,得到致密的TiO2电子传输层;
步骤4,钙钛矿光吸收层的溶液法制备:
1)将PbI2前驱体溶液滴在制备好的FTO/ TiO2衬底上,按照不同的转速旋涂,将得到的PbI2前驱体薄膜退火,冷却至室温;
2)将CsCl溶液滴在一定旋涂速度的涂有PbI2薄膜衬底中心,退火,薄膜上长出微米级的CsPbIxCl3-x钙钛矿纳米线结构,得到钙钛矿光吸收层;
步骤5,制备空穴传输层:
将空穴传输层材料Spiro-MeOTAD混合物溶液、PTAA、P3HT、CuI、NiOx或MoOx中的一种或多种在室温条件下旋涂在钙钛矿吸收层上,得到空穴传输层;
步骤6,制备电极:采用热蒸镀的方式在空穴传输层上沉积金属电极,或直接采用丝网印刷技术在钙钛矿层上沉积碳电极,得到光电探测器。
2.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤3中,以2000-4000 rpm的转速旋涂在处理好的FTO导电玻璃衬底上,将旋涂好的TiO2薄膜在50-70 ℃预热20-30 min后,在120-200 min时间内从室温加热到450-500℃,退火40-60min;所述致密的TiO2电子传输层厚度为40-80 nm。
3.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4中,PbI2前驱体溶液是按照体积比将PbI2溶解于DMSO或DMF中制得;PbI2前驱体溶液浓度为0.5-1.2 mol/L。
4.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4-1)中,以1000-1500rpm的速度旋涂20-40 s,接着4000-5000 rpm 的速度旋转20-40 s;得到的PbI2前驱体薄膜,将得到的PbI2前驱体薄膜在150-250℃退火5min后,冷却至室温。
5.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤4-2)中,将CsCl溶液滴在旋涂速度为4000-5000 rpm的涂有PbI2薄膜衬底中心,在200 ℃退火20-40 min;
所述CsCl溶液是将CsCl颗粒溶解于甲醇或异丙醇中制备浓度为2-8mg/L的溶液。
6.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤5中,Spiro-MeOTAD混合物溶液是按照质量比将4-8%的Spiro-MeOTAD、0.6-1.0%的锂盐Li-TFSI、2.0-2.4%的4-叔丁基吡啶t-BP和89-93%的氯苯混合搅拌24-36 h得到。
7.根据权利要求1所述的全无机钙钛矿纳米线自供能-短波光电探测器的制备方法,其特征在于,在室温条件下将空穴传输层材料旋涂在钙钛矿光吸收层上,旋涂速度为2000-4000rpm,时间为30-40s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





