[发明专利]一种匀胶显影机增粘单元

权利要求书

1.一种匀胶显影机增粘单元，其特征在于：包括底盘、上盖、喷淋装置以及支撑盘，所述底盘和上盖上均设置有加热装置，所述上盖位于底盘的上端且与底盘配合形成真空腔，所述底盘的底部设置有真空泵接口，所述喷淋装置设置在上盖内，所述支撑盘设置在底盘内用于支撑晶圆，所述支撑盘与底盘转动连接且通过电机驱动转动，所述喷淋装置包括整流板、喷管、喷头和连接管，所述喷管在水平面内呈螺旋形布置，所述喷管位于晶圆的正上方，所述整流板设置在晶圆和喷管之间，所述喷管的外端通过连接管连接至HMDS储存罐，所述上盖上开设有用于连接管配合的过孔，所述喷管的内端封闭，所述喷头呈水平布置，且所述喷头间隔布置在喷管的外侧以及内侧，所述喷管的外侧设置有螺旋挡板，所述螺旋挡板的上端固设有一顶板，所述螺旋挡板形成用于安装所述喷管的通道，所述螺旋挡板用于将喷管外侧和内侧喷淋的HMDS液体引导至整流板。

2.根据权利要求1所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述喷管外缠绕设置有电阻丝，所述电阻丝沿喷管的外端向内端延伸用于对喷管进行预热。

3.根据权利要求1所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述喷管和螺旋挡板均通过支撑架固定于整流板，所述支撑架包括支柱以及横筋，所述横筋的宽度大于所述通道的宽度用于对通道内的喷管进行限位，所述横筋通过支柱连接至整流板。

4.根据权利要求1所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述底盘和上盖均呈圆形，所述底盘和上盖的同侧边缘处通过一转轴枢接，所述底盘的一侧设置有弧形的限位挡板，所述上盖转动到位后，所述底盘和上盖密封配合。

5.根据权利要求1所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述支撑盘包括传动轴、转动平台以及顶针，所述转动平台的底部通过传动轴连接至电机，所述传动轴与所述底盘转动密封配合，所述顶针为三根，所述顶针均布在所述转动平台上用于对晶圆进行支撑。

6.根据权利要求1所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述底盘的底部以及上盖的顶部均开设有用于容纳所述加热装置的容纳腔，所述加热装置正对晶圆设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述整流板包括内板，所述内板上均布设置有若干过液孔，所述过液孔为上端较小的锥形结构。

8.根据权利要求7所述的匀胶显影机增粘单元，其特征在于：所述过液孔内填充有过滤介质，所述整流板的下端过盈配合有一槽盖，所述槽盖的上部形成有用于安装所述内板的凹槽，所述槽盖上均匀设置有若干通孔，所述通孔与所述过液孔一一对应，所述通孔的直径小于过液孔的下端直径，所述槽盖用于所述过滤介质进行限位。