[发明专利]一种电子工业洁净厂房的空气净化系统

说明书

本发明公开了一种电子工业洁净厂房的空气净化系统，空气净化系统中包括了设置在洁净厂房顶部的送风静压箱和洁净厂房底部的回风静压箱，所述送风静压箱和回风静压箱的一侧通过回风通道联通且回风从回风静压箱进入送风静压箱，所述送风静压箱的另一侧设置有送风进口且底部连接高效过滤器，所述回风静压箱的顶部设置有刚性地板且刚性地板的上端设置高架地板，回风静压箱的内部底端铺设有软地板且软地板的材质为聚氯乙烯材质，软地板包括呈平面结构的板块A和呈坡面结构的板块B且板块A和板块B呈梅花状间隔铺设，同时板块B上涂刷有硅藻泥涂层。本发明能够实现电子工业洁净厂房中空气洁净度的有效控制并有效延长FFU高效过滤器的使用寿命。

技术领域

本发明涉及一种电子工业洁净厂房空气净化系统，用于电子工业洁净厂房。

背景技术

洁净厂房设计是一项相关专业综合完成的设计技术，它与一般工业厂房设计有类似之处，但也具有自身的特点：

(1)根据洁净厂房拟生产的产品门类、品种或使用情况，确定所设计洁净厂房的控制对象及技术要求。如生物洁净厂房，其控制对象是空气中的尘粒、微生物。不同产品或用途的生物洁净厂房，对空气洁净度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不同的。又如集成电路生产用洁净厂房，其控制对象主要是空气中的尘粒；按集成电路的特征尺寸、集成度的不同，对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的，应按具体工厂的产品品种确定。

(2)为确保洁净厂房内所必须的空气洁净度，洁净厂房设计中涉及到的各个专业设计均应采取妥善、可靠的技术措施，以减少或防止室内产尘和滋生微生物，减少或阻止将微粒/微生物和可能会造成交又污染的物料带入洁净厂房内，有效地将室内的微粒/微生物排出，以减少或防止它们滞留洁净厂房内。

洁净厂房的空间设计，应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。合理安排、布置生产洁净区，人员净化、物料净化、工艺设备及相应物料供应管线，净化空调系统和各种公用动力设施及其管线等是洁净厂房空间设计的主要任务。进行空间设计时，应仔细考虑生产洁净区与相关的辅助生产区之间的关系，必须使空间布置做到有效、灵活，对于一般的洁净厂房在吊顶上部或楼面下布置送风、回风和排风管道以及各种水、气、电管线等，需要设置必要的空间；对于垂直单向流为主的洁净厂房，首先应在选择好气流流型、净化空调系统的形式和空调机、空气过滤器的前提下，合理、有效地布置洁净厂房的空间。

在洁净厂房设计特别是单向流洁净厂房设计中，气流流型、净化空调设备的选择和布置方案的选择是确定洁净厂房空间布置的主要因素。

目前垂直单向流洁净厂房内的空气洁净度主要是通过在吊顶内设置送风静压箱或FFU风机过滤机组等系统，把送风静压箱内的新风及过滤后的洁净厂房的回风，利用垂直单向流的垂直正压作用，把洁净空气送入洁净厂房内，同时将洁净厂房中的尘粒和微生物等物质运送到回风静压箱内。

但是由于气流作用回风静压箱内的尘粒和微生物等物质极易受到扰动而再次滞留在洁净厂房内，以此降低洁净厂房内的空气洁净度，对工作环境产生不良的影响。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种电子工业洁净厂房的空气净化系统，能够实现电子工业洁净厂房中空气洁净度的有效控制并有效延长FFU高效过滤器的使用寿命。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

一种电子工业洁净厂房的空气净化系统，包括设置于洁净厂房顶部的送风静压箱和设置于洁净厂房底部的回风静压箱，所述送风静压箱和回风静压箱的一侧通过回风通道联通且回风从回风静压箱进入送风静压箱，所述送风静压箱的另一侧设置有送风进口且底部连接高效过滤器，所述回风静压箱的顶部设置有刚性地板且刚性地板的上端设置高架地板，回风静压箱的内部底端铺设有软地板且软地板的材质为聚氯乙烯材质。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述软地板包括板块A和板块B且板块A和板块B呈梅花状间隔铺设，同时板块B上涂刷有硅藻泥涂层。