[发明专利]晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备中的卡盘装置，其特征在于，包括卡盘基座、传动件(100)、弹性件(200)、多个夹持件(300)和驱动机构(400)，其中：

多个所述夹持件(300)设置于所述卡盘基座，且多个所述夹持件(300)形成夹持空间，待夹持件可夹持于所述夹持空间，所述传动件(100)可转动地设置于所述卡盘基座，多个所述夹持件(300)均与所述传动件(100)驱动相连；

所述弹性件(200)与所述传动件(100)相连，所述弹性件(200)可驱动所述传动件(100)在第一转动方向上转动，所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动的情况下可驱动多个所述夹持件(300)夹持所述待夹持件；

驱动机构(400)可驱动所述卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换，在所述卡盘装置处于所述第一夹持状态的情况下，所述弹性件(200)以第一驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；在所述卡盘装置处于所述第二夹持状态的情况下，所述弹性件(200)以第二驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；

其中，所述第二驱动力大于所述第一驱动力。

2.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述弹性件(200)的第一端与所述传动件(100)相铰接，在所述卡盘装置处于所述第一夹持状态的情况下，所述弹性件(200)的第二端与所述第一端之间的距离为第一距离，从而以所述第一驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；在所述卡盘装置处于所述第二夹持状态的情况下，所述第二端与所述第一端之间的距离为第二距离，从而以所述第二驱动力驱动所述传动件(100)在所述第一转动方向上转动；

其中，所述第二距离大于所述第一距离。

3.根据权利要求2所述的卡盘装置，其特征在于，所述驱动机构(400)与所述第二端驱动相连，且所述驱动机构(400)可驱动所述第二端在第一位置与第二位置之间运动；

在所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第一位置时，所述第二端与所述第一端之间的距离为所述第一距离，所述卡盘装置处于所述第一夹持状态；在所述驱动机构(400)驱动所述第二端运动至所述第二位置时，所述第二端与所述第一端之间的距离为所述第二距离，所述卡盘装置处于所述第二夹持状态。

4.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，所述弹性件(200)的数量为多个，且环绕所述传动件(100)的转动轴线均匀设置，所述驱动机构(400)的数量为多个，多个所述弹性件(200)与多个所述驱动机构(400)一一对应地设置。

5.根据权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘装置还包括同步器(500)，多个所述驱动机构(400)均与所述同步器(500)相连，所述同步器(500)用于使多个所述驱动机构(400)同步驱动多个所述第二端在所述第一位置与所述第二位置之间运动。

6.根据权利要求5所述的卡盘装置，其特征在于，所述同步器(500)为盘状结构件或环状结构件，所述盘状结构件或所述环状结构件可转动地设置于所述卡盘基座，且所述盘状结构件或所述环状结构件的转动轴线与所述传动件(100)的转动轴线共线。

7.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，所述驱动机构(400)包括第一连杆(410)和第二连杆(420)，所述第一连杆(410)的第三端与所述第二端铰接，所述第一连杆(410)的第四端与所述第二连杆(420)的第五端铰接，所述第一连杆(410)铰接于所述卡盘基座，且两者的铰接点位于所述第三端与所述第四端之间；

所述第二连杆(420)可驱动所述第一连杆(410)绕所述铰接点转动，以带动所述第二端在所述第一位置与所述第二位置之间运动。