[发明专利]具有基底和两个带光波导的结构元件的组件以及制造方法在审
| 申请号: | 202010692472.3 | 申请日: | 2020-07-17 |
| 公开(公告)号: | CN112241044A | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
| 发明(设计)人: | 汉斯-赫尔曼·奥珀曼;托尔加·特金;约格·斯托克梅耶;朱利安·弗勒利希 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王瑞朋;卫娟 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 基底 两个 波导 结构 元件 组件 以及 制造 方法 | ||
1.至少具有一个第一结构元件和一个第二结构元件(1、2、1’、2’)以及装配装置的组件,所述装配装置具有至少一个照相机(100)以及可控制的机械操纵装置(101),所述结构元件分别与一个共同的平整的基底(3、3’)牢固连接,并且每个结构元件具有至少一个光波导(4、5、6、7),其中,所述结构元件在所述基底上紧接着彼此设置并且相对彼此设置为,使得所述结构元件的两个联接侧(8、9)在联接平面(10)的两侧上彼此对置,并且不同结构元件的分别在所述联接侧在联接面(8a、9a)处终止的至少两个光波导彼此对齐地定向并定位为,使得所述两个光波导在端侧彼此光联接,其特征在于,
所述基底在其朝向所述结构元件的表面上具有可光学识别的第一基底标记组(11、12、13、14、15、41、42、43、44、64)以及可光学识别的第二基底标记组(16、17、18、19、20、45、46、47、48),
每个基底标记组分别具有至少一条直的、特别是至少两条直的、彼此平行且彼此隔开的线(11、12、13、14、16、17、18、19),其中,所述线或其直的延长部分别贯穿所述联接平面(10),
所述第一结构元件(1)具有第一结构元件标记组(21、22、23、24、33、34、35、36),并且所述第二结构元件具有第二结构元件标记组(25、26、27、28、37、38、39、40),其中,所述结构元件标记组分别具有直的、可光学识别的线或标记,所述可光学识别的线或标记平行于待联接的光波导的纵向轴线(29、30)延伸,并且
所述装配装置设置为,将结构元件和基底如下组装,使得所述结构元件借助结构元件标记组仅光学地对齐基底标记组的线(11、12、13、14、16、17、18、19、41、42、43、44、45、46、47、48)。
2.根据权利要求1所述的组件,其特征在于,在两个结构元件(1、2、1'、2')中的待联接的光波导(4、5、6、7)在装配在所述基底(3,3’)上之后以距基底表面相同的距离延伸,其中,所述光波导特别是分别在所述结构元件(1、2、1'、2')的朝向所述基底的一侧上设置在其表面上。
3.根据权利要求1或2所述的组件,其特征在于,所述结构元件(1、2、1'、2')与所述基底(3、3')以倒装芯片技术连接。
4.根据权利要求1、2或3所述的组件,其特征在于,所述基底标记组(11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、41、42、43、44、45、46、47、48、64)中的至少一个基底标记组具有线(15、20),所述线平行于所述联接平面(10)延伸。
5.根据权利要求1、2或3或4所述的组件,其特征在于,所述标记组的一条或多条线(11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21、22、23、24、25、26、27、28、33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48、64)是可光学识别的面的线条或边棱。
6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的组件,其特征在于,所述基底标记组的和/或所述结构元件标记组的一条或多条线(33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48)或所有线以小于90度的角相对联接平面定向并且在所述联接面(8a,9a)的区域中平行于所述结构元件的待联接的光波导的纵向轴线(31、32)延伸,所述线或其延长部贯穿所述联接平面(10)。
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