[发明专利]检测支撑装置及缺陷检测设备在审
| 申请号: | 202010660655.7 | 申请日: | 2020-07-09 |
| 公开(公告)号: | CN111650214A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
| 发明(设计)人: | 李英坤;姜豪;刘风雷 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/956 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 孙海杰 |
| 地址: | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 支撑 装置 缺陷 设备 | ||
1.一种检测支撑装置,其特征在于,所述检测支撑装置包括:背光源(110)、支撑组件和透明载具(140),所述支撑组件用于将所述透明载具(140)支撑于所述背光源(110)的出光侧,所述透明载具(140)用于承载待测产品;
所述支撑组件包括间隔设置的第一支撑结构(120)和第二支撑结构(130),且所述第一支撑结构(120)和第二支撑结构(130)之间的距离可调,以使所述支撑组件适配不同宽度的透明载具(140)。
2.根据权利要求1所述的检测支撑装置,其特征在于,所述检测支撑装置包括基座(150),所述背光源(110)和所述支撑组件安装在所述基座(150)上;
且所述第一支撑结构(120)与所述基座(150)滑动连接,和/或,所述第二支撑结构(130)与所述基座(150)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的检测支撑装置,其特征在于,所述第一支撑结构(120)相对于所述基座(150)固定;所述基座(150)上设置有滑槽,所述第二支撑结构(130)与所述滑槽滑动连接,所述滑槽的延伸方向与所述第一支撑结构(120)朝向第二支撑结构(130)的方向相同。
4.根据权利要求3所述的检测支撑装置,其特征在于,所述第二支撑结构(130)上设置有锁紧螺纹件(160),所述锁紧螺纹件(160)锁紧时,所述第二支撑结构(130)与所述基座(150)固定。
5.根据权利要求2所述的检测支撑装置,其特征在于,所述第一支撑结构(120)朝向所述第二支撑结构(130)的面上设置有向所述第二支撑结构(130)一侧凸出的第一凸条,所述第一凸条与所述第一支撑结构(120)朝向所述第二支撑结构(130)的面垂直;
所述第二支撑结构(130)朝向所述第一支撑结构(120)的面上设置有向所述第一支撑结构(120)一侧凸出的第二凸条,所述第二凸条与所述第二支撑结构(130)朝向所述第一支撑结构(120)的面垂直。
6.一种缺陷检测设备,其特征在于,所述缺陷检测设备包括权利要求1-5任意一项所述的检测支撑装置(100);
所述缺陷检测设备包括控制器和图像采集装置,所述检测支撑装置(100)位于所述图像采集装置的下方,所述图像采集装置用于对样品的检测区域进行拍照,从而获得检测图像,所述控制器用于将检测图像与预设图像进行比较,并判断样品是否具有缺陷。
7.根据权利要求6所述的缺陷检测设备,其特征在于,所述图像采集装置和检测支撑装置(100)能够分别在第一方向、第二方向和第三方向上产生相对运动,且第一方向、第二方向和第三方向彼此垂直。
8.根据权利要求6所述的缺陷检测设备,其特征在于,所述图像采集装置包括镜头和补光装置,所述补光装置位于所述镜头和检测支撑装置(100)之间。
9.根据权利要求8所述的缺陷检测设备,其特征在于,所述补光装置包括固定台(310)、升降结构(320)、旋转调节环(330)和第一灯体(340),所述升降结构(320)能够相对于所述固定台(310)沿第三方向滑动,且所述升降结构(320)与所述固定台(310)上对应设置有第一限位结构,所述第一限位结构用于阻止所述升降结构(320)相对于所述固定台(310)旋转;
所述旋转调节环(330)与所述升降结构(320)螺纹连接;所述固定台(310)上设置有第二限位结构,所述第二限位结构用于阻止所述旋转调节环(330)相对于所述固定台(310)沿第一方向运动;
所述第一灯体(340)与所述升降结构(320)连接。
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