[发明专利]一种湿胚转移臂结构

权利要求书

1.一种湿胚转移臂结构，其特征在于，包括：湿胚转移臂、弧形导向随动机构、湿胚吸附模具和升降驱动机构；

所述弧形导向随动机构包括弧形导向板、升降安装板；所述弧形导向板的一个侧壁上设有第一弧形轨道，其相对的另一个侧壁上设有第二弧形轨道；所述第一弧形轨道与所述第二弧形轨道共圆心；所述升降安装板的底面上设有第一导向轮和第二导向轮，所述第一导向轮和第二导向轮分别与所述第一弧形轨道、第二弧形轨道配合组成弧形运动副；

所述湿胚吸附模具与所述弧形导向板的底面固定连接；当湿胚吸附模具受到水平方向外力作用时，湿胚吸附模具受弧形运动副的约束，即按弧形轨道的轨迹，相对湿胚转移臂作水平平移；

所述升降驱动机构安装于所述湿胚转移臂上，所述升降驱动机构用于驱动升降安装板沿竖直方向作升降运动，由所述升降安装板通过第一导向轮和第二导向轮带动弧形导向板、湿胚吸附模具沿竖直方向作升降运动。

2.根据权利要求1所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，所述第一导向轮和所述第二导向轮的数量均为两个以上。

3.根据权利要求1所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，所述升降驱动机构为举升气缸；所述湿胚转移臂上固定安装有举升气缸支撑架；所述举升气缸的缸体固定安装于所述升降安装板的顶面上，所述举升气缸的活塞杆伸出端穿过所述湿胚转移臂与所述举升气缸支撑架固定连接。

4.根据权利要求1所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，还包括复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述弧形导向板固定连接，其另一端与升降安装板固定连接；当湿胚吸附模具受到水平方向外力消失后，由复位弹簧将湿胚吸附模拉回至初始位置。

5.根据权利要求1所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，还包括至少两个板链组件，板链组件包括括固定安装于湿胚转移臂的底面上的上安装板、固定安装于升降安装板的顶面上的下安装板以及至少两个铰板，至少两个铰板由上至下依次铰接；相邻的两个铰板通过第一铰接轴相互铰接；上安装板与位于最上方的一个铰板铰接；下安装板与位于最下方的一个铰板铰接；实际安装时，相邻两个板链组件的第一铰接轴所在的轴线必须相交，不但平行设置；所述板链组件包括两个铰板，位于上方的铰板与上安装板铰接；位于下方的铰板与下安装板铰接；位于上方的铰板的长度小于位于下方的铰板的长度；位于上方的铰板的长度与上安装板的长度之和小于或等于位于下方的铰板的长度。

6.根据权利要求1所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，所述湿胚吸附模具包括具有通气管道的安装模框及设置于其下方的吸附模具模芯、固定安装于安装模框顶面上的真空气室结构，所述真空气室结构的真空腔与吸附模具模芯的吸附管道相互连通，通过所述真空腔、吸附管道对所述吸附模具模芯进行抽真空处理，使得湿胚吸附到所述吸附模具模芯上。

7.根据权利要求6所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，所述真空气室结构包括：

真空气室主体，所述真空气室主体的内部形成有真空腔；所述真空气室主体的一个侧壁上设有抽气口，其相对的另一个侧壁上设有泄压口，所述抽气口用于与抽真空设备连接，所述泄压口用于与外部空气连通；

控制阀组件，所述控制阀组件包括封堵件、驱动机构；所述封堵件位于抽气口与泄压口之间；所述驱动机构的输出轴穿过抽气口或泄压口与所述封堵件固定连接；所述驱动机构用于驱动封堵件直线运动从而在抽真空状态和泄压状态之间转换；当封堵件处于抽真空状态时，所述封堵件封堵住所述泄压口，使得抽气口与真空腔连通；当封堵件处于泄压状态时，所述封堵件封堵住所述抽气口，使得大气通过泄压口与真空腔连通。

8.根据权利要求7所述的湿胚转移臂结构，其特征在于，所述真空气室主体的一侧向外延伸设有导气腔体，所述导气腔体具有与所述真空腔连通的导气腔，所述抽气口设置于所述导气腔体的一个侧壁上，泄压口设置于所述导气腔体的相对的另一个侧壁上，所述驱动机构安装于所述真空气室主体的导气腔体上。