[发明专利]一种芯片结构及其制作方法、显示装置有效
| 申请号: | 202010587826.8 | 申请日: | 2020-06-24 |
| 公开(公告)号: | CN111682043B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
| 发明(设计)人: | 陈亮;郑皓亮;陈昊;玄明花;刘冬妮;赵蛟;齐琪;肖丽 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 结构 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种芯片结构,其特征在于,包括:基底,设置于所述基底上的微型发光二极管和驱动晶体管,所述驱动晶体管的第一极与所述微型发光二极管的第一电极耦接;
所述微型发光二极管包括:沿远离所述基底的方向依次层叠设置在所述基底上的:第一电流扩展层、发光功能层和第二电流扩展层;还包括位于所述第二电流扩展层背向所述基底的一侧的第二电极;
所述驱动晶体管包括:
设置于所述第一电流扩展层背向所述基底的一侧的第一有源层;
设置于所述第一有源层背向所述基底的一侧的第三电流扩展层;
设置于所述第三电流扩展层背向所述基底的一侧的第二极和第一栅极,所述第二极与所述第三电流扩展层耦接,所述第一栅极与所述第三电流扩展层绝缘;
所述第一电流扩展层复用为所述第一电极和所述第一极。
2.根据权利要求1所述的芯片结构,其特征在于,
所述微型发光二极管还包括:第一补偿电极,所述第一补偿电极位于所述第二电流扩展层与所述第二电极之间,所述第二电极通过所述第一补偿电极与所述第二电流扩展层耦接;
所述驱动晶体管还包括:第二补偿电极,所述第二补偿电极位于所述第三电流扩展层与所述第二极之间,所述第二极通过所述第二补偿电极与所述第三电流扩展层耦接。
3.根据权利要求2所述的芯片结构,其特征在于,所述芯片结构还包括开关晶体管,所述开关晶体管包括:
设置于所述基底上的第四电流扩展层;
设置于所述第四电流扩展层背向所述基底的一侧的第二有源层;
设置于所述第二有源层背向所述基底的一侧的第五电流扩展层;
设置于所述第五电流扩展层背向所述基底的一侧的第三补偿电极;
设置于所述第四电流扩展层背向所述基底的表面的第三极,所述第三极与所述驱动晶体管的第一栅极耦接;
设置于所述第三补偿电极背向所述基底的一侧的第四极和第二栅极,所述第四极与所述第三补偿电极耦接,所述第二栅极与所述第三补偿电极绝缘。
4.根据权利要求1所述的芯片结构,其特征在于,所述芯片结构还包括:
设置于所述基底背向所述微型发光二极管的一侧的反射层;或者,
设置于所述第二电流扩展层背向所述基底的一侧的反射层。
5.一种显示装置,其特征在于,包括多个如权利要求1~4中任一项所述的芯片结构,还包括阵列基板,所述阵列基板包括:衬底基板,以及设置于所述衬底基板上的第一电源信号线、第二电源信号线和多个存储电容;所述存储电容与所述芯片结构一一对应;
多个所述芯片结构呈阵列分布在所述阵列基板上,每个芯片结构中,微型发光二极管的第二电极与所述第一电源信号线耦接,所述驱动晶体管的第二极与所述第二电源信号线耦接,所述驱动晶体管的第一栅极与存储电容的第一极板耦接,所述存储电容的第二极板与所述驱动晶体管的第二极耦接。
6.根据权利要求5所述的显示装置,其特征在于,所述芯片结构还包括开关晶体管,所述阵列基板还包括多条栅线和多条数据线;
所述栅线与所述数据线交叉设置;
多个所述芯片结构划分为与所述多条栅线一一对应的多行芯片结构,每行芯片结构中各芯片结构包括的开关晶体管的第二栅极分别与对应的栅线耦接;
多个所述芯片结构划分为与所述多条数据线一一对应的多列芯片结构,每列芯片结构中各芯片结构包括的开关晶体管的第四极分别与对应的数据线耦接。
7.一种芯片结构的制作方法,其特征在于,用于制作如权利要求1~4中任一项所述的芯片结构,所述制作方法包括:
在基底上制作微型发光二极管和驱动晶体管,所述驱动晶体管的第一极与所述微型发光二极管的第一电极耦接;
制作微型发光二极管和驱动晶体管的步骤具体包括:
在基底上形成第一电流扩展层;
在所述第一电流扩展层背向所述基底的一侧,形成发光功能层和第一有源层;
通过一次构图工艺,同时形成位于所述发光功能层背向所述基底的一侧的第二电流扩展层,以及位于所述第一有源层背向所述基底的一侧的第三电流扩展层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





