[发明专利]一种真空腔中器件的更换装置和方法

权利要求书

1.一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，包括真空腔和缓冲腔，所述真空腔和缓冲腔之间通过隔板隔开，所述隔板上包括通孔、滑轨、可在滑轨中滑动且能够覆盖通孔的门板、均匀分布在通孔边上的可伸缩的锁扣、以及连接锁扣和门板的控制中心；

所述锁扣包括垂直设置的伸缩轴和锁紧轴，所述锁紧轴位于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端嵌入在所述隔板中，所述门板与所述锁紧轴位于所述通孔的同一侧，所述控制中心控制所述伸缩轴和锁紧轴沿着垂直于隔板平面的方向伸缩；所述控制中心控制所述锁紧轴以伸缩轴为轴心进行旋转；

所述缓冲腔中包含抓手和替换器件，当真空腔中器件需要被替换时，所述缓冲腔处于与真空腔相同的真空状态，所述控制中心控制所述锁紧轴旋转并缩回至压紧隔板位置，并控制门板远离通孔；所述抓手用缓冲腔中替换器件替换真空腔中器件；替换完成之后，所述控制中心控制门板覆盖通孔，并控制锁紧轴伸出并旋转至压紧门板位置，使得真空腔和缓冲腔隔离。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述缓冲腔还包括真空度控制单元，用于控制所述缓冲腔中的真空度。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述更换装置还包括伸缩单元，所述伸缩单元嵌入在隔板中，且连接所述伸缩轴和控制中心，所述控制中心控制所述伸缩单元带动伸缩轴和锁紧轴沿着垂直于隔板平面的方向移动。

4.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述锁紧轴靠近真空腔的一侧包括压垫，所述锁紧轴压紧门板时，所述压垫接触门板。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述隔板靠近缓冲腔的一侧包括定位槽，所述定位槽环绕通孔一周，且定位槽中固定密封条，当门板覆盖通孔时，所述密封条与门板接触。

6.根据权利要求5所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述密封条为柔性金属。

7.根据权利要求5所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述密封条和门板材质不同，且门板材质硬度大于密封条硬度。

8.一种真空腔中器件的更换方法，其特征在于，包括如下步骤：

S01：缓冲腔保持与真空腔相同的真空度，控制中心控制锁紧轴旋转并缩回至压紧隔板位置；

S02：所述控制中心控制门板沿着滑轨滑动至远离通孔的位置；

S03：所述控制中心控制抓手用缓冲腔中替换器件替换真空腔中器件，并控制抓手收回至缓冲腔室中；

S04：所述控制中心控制门板沿着滑轨滑动至覆盖通孔位置；

S05：所述控制中心控制锁紧轴伸出并旋转至压紧门板位置，使得真空腔和缓冲腔隔离。

9.根据权利要求8所述的一种真空腔中器件的更换方法，其特征在于，所述步骤S01具体包括：

S011：所述控制中心控制锁紧轴伸出，使得所述锁紧轴远离门板；

S012：所述控制中心控制锁紧轴旋转至不与门板重合位置；

S013：所述控制中心控制锁紧轴缩回至压紧隔板位置。

10.根据权利要求8所述的一种真空腔中器件的更换方法，其特征在于，所述步骤S05具体包括：

S051：所述控制中心控制锁紧轴伸出，使得所述锁紧轴顶端在垂直于隔板平面的方向上高于门板；

S052：所述控制中心控制锁紧轴旋转至与门板重合位置；

S053：所述控制中心控制锁紧轴缩回至压紧门板位置。