[发明专利]一种具有压阻效应的柔性振动传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种具有压阻效应的柔性振动传感器，所述柔性振动传感器包括敏感材料和导电电极，其特征在于，所述敏感材料包括碳纳米管膜、以及附着于碳纳米管膜上的氧化锌颗粒，其中，所述碳纳米管膜的厚度为50～80μm，氧化锌颗粒尺寸为200～500nm，碳纳米管与氧化锌的质量比为(12～15):1；

所述具有压阻效应的柔性振动传感器是采用以下方法制备得到的：

步骤1、采用化学气相沉积法制备碳纳米管膜，并进行等离子体处理；

步骤2、采用原子层沉积技术在步骤1处理后的碳纳米管膜上沉积氧化锌层；以二乙基锌为锌源，去离子水为氧源，沉积温度140～160℃，循环次数为100～500；其中，一次循环包括：二乙基锌脉冲0.02s～0.03s，氮气清洗8～10s，去离子水脉冲0.02s～0.04s，氮气清洗8～10s；

步骤3、制备电极，得到所述柔性振动传感器。

2.根据权利要求1所述的具有压阻效应的柔性振动传感器，其特征在于，所述敏感材料是通过原子层沉积技术在表面等离子体处理后的碳纳米管膜上沉积氧化锌得到的。

3.一种具有压阻效应的柔性振动传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、采用化学气相沉积法制备碳纳米管膜，并进行等离子体处理；

步骤2、采用原子层沉积技术在步骤1处理后的碳纳米管膜上沉积氧化锌层；以二乙基锌为锌源，去离子水为氧源，沉积温度140～160℃，循环次数为100～500；其中，一次循环包括：二乙基锌脉冲0.02s～0.03s，氮气清洗8～10s，去离子水脉冲0.02s～0.04s，氮气清洗8～10s；

步骤3、制备电极，得到所述柔性振动传感器。

4.根据权利要求3所述的具有压阻效应的柔性振动传感器的制备方法，其特征在于，步骤1所述等离子体处理的功率为290～320W，空气气压为10～50Pa，时间为10～15min。