[发明专利]一种OLED显示面板的制备方法有效
| 申请号: | 202010529970.6 | 申请日: | 2020-06-11 |
| 公开(公告)号: | CN111725439B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
| 发明(设计)人: | 曹祖强 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何辉 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 oled 显示 面板 制备 方法 | ||
本发明提供一种OLED显示面板的制备方法。所述OLED显示面板区分为显示区和挖孔区,所述制备方法包括步骤:提供一衬底层;在所述衬底层上制备薄膜晶体管层;所述挖孔区分为第一区域和包围所述第一区域的第二区域,在所述第二区域内制备至少一条狭缝,所述狭缝贯穿所述薄膜晶体管层以及部分所述衬底层。本发明通过在第二区域内设置至少一条狭缝,在第一区域内保留薄膜晶体管结构,减少了狭缝的数量,不仅能保证挖孔区的封装效果,还有效减小了此区域内的光刻胶表面张应力,减轻了由于涂胶不均在挖孔区产生的显示不均。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种OLED显示面板的制备方法。
背景技术
为了实现显示面板的窄边框设计,实现更大的屏占比,一般会采用将前置摄像头变为“刘海”屏或“水滴”屏,或者是近两年非常受欢迎的“挖孔”屏的技术方案,统称为CUP(camera under panel,屏下摄像头)技术。而在OLED显示面板上制作挖孔屏,需要克服OLED封装、摄像头挖孔O-cut(O型切割)区产生Mura(显示不均)等一系列技术难点。
一般采用在摄像头挖孔区设置多条狭缝的方式来避免有机发光层蒸镀材料形成水汽入侵通道,造成显示区的封装失效。但是在后续的光阻涂布制程中,此O-cut结构极易因光刻胶材料的表面张力等原因造成涂胶不均,形成O-cut区域Mura。故,有必要改善这一缺陷。
发明内容
本发明实施例提供一种OLED显示面板的制备方法,用于解决现有技术的OLED显示面板,其挖孔区采用设置多条狭缝的方法来避免形成水汽入侵通道,在后续涂布光阻的制程中,由于光刻胶表面张应力过大,导致挖孔区产生显示不均的技术问题。
本发明实施例提供一种OLED显示面板的制备方法,所述OLED显示面板区分为显示区和挖孔区,所述制备方法包括下列步骤:提供一衬底层;在所述衬底层上制备薄膜晶体管层;所述挖孔区分为第一区域和包围所述第一区域的第二区域,在所述第二区域内制备至少一条狭缝,所述狭缝贯穿所述薄膜晶体管层以及部分所述衬底层;在所述薄膜晶体管层上蒸镀形成有机发光层;在所述有机发光层上且对应于所述显示区内制备封装层;以及在所述封装层、所述有机发光层上以及所述狭缝内制备光阻层。
进一步的,所述狭缝为多条。
进一步的,所述狭缝为环形结构。
进一步的,所述第一区域为圆形区域,所述圆形区域的半径大于所述狭缝的宽度。
本发明实施例提供一种OLED显示面板的制备方法,所述OLED显示面板区分为显示区和挖孔区,所述制备方法包括下列步骤:提供一衬底层;在所述衬底层上制备薄膜晶体管层;在所述挖孔区形成至少一条狭缝,所述狭缝贯穿所述薄膜晶体管层以及部分所述衬底层;在所述薄膜晶体管层上蒸镀形成有机发光层;在所述有机发光层上且对应于所述显示区内制备封装层;在所述封装层、所述有机发光层上以及所述狭缝内制备第一光阻层;以及在所述第一光阻层上制备第二光阻层。
进一步的,所述狭缝为多条。
进一步的,所述狭缝为环形结构。
进一步的,所述第一光阻层的厚度小于所述第二光阻层的厚度。
进一步的,所述在所述封装层、所述有机发光层上以及所述狭缝内制备第一光阻层、以及所述在所述第一光阻层上制备第二光阻层的步骤为:使用双涂胶嘴的涂胶治具涂布所述第一光阻层和所述第二光阻层,所述双涂胶嘴的涂胶治具包括第一涂胶嘴和第二涂胶嘴。
进一步的,所述使用双涂胶嘴的涂胶治具涂布所述第一光阻层和所述第二光阻层的步骤为:使用所述第一涂胶嘴涂布所述第一光阻层;使用所述第二涂胶嘴涂布所述第二光阻层,所述第一涂胶嘴的起始位置先于所述第二涂胶嘴的起始位置,所述第一涂胶嘴和所述第二涂胶嘴同时开始工作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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