[发明专利]用于改进的电接触的透明导电氧化物(TCO)薄膜的预处理

说明书

本申请涉及用于改进的电接触的透明导电氧化物(TCO)薄膜的预处理。某些实施方案涉及光学器件和制造光学器件的方法，所述方法预处理子层以实现所述预处理的子层和覆盖层的选择性移除。其他实施方案属于制造光学器件的方法，所述方法施加牺牲材料层。

分案申请的相关信息

本案是分案申请。该分案的母案是申请日为2014年06月12日、申请号为201480033512.6、发明名称为“用于改进的电接触的透明导电氧化物(TCO)薄膜的预处理”的发明专利申请案。

相关申请的交叉引用

根据美国法典第35篇第119条(e)款，本申请要求于2013年6月12日提交且名称为“PRETREATMENT OF TCO THIN FILMS FOR IMPROVED ELECTRICAL CONTACT,”的美国临时申请序列号61/834,372的优先权，该申请为了所有的目的以引用的方式整体并入本文。

领域

本文公开的实施方案一般涉及诸如电致变色器件的光学器件以及制造光学器件的方法。

背景

各种光学可切换的器件可供用于控制窗格的着色、反射率等。电致变色器件通常是光学可切换的器件的一个实例。电致变色是材料在置于不同电子状态时(通常经受电压变化)在光学性质上展现出可逆的电化学调节变化的现象。被操纵的光学性质通常是色彩、透射率、吸收率和反射率中的一个或多个。一种熟知的电致变色材料是氧化钨(WO3)。氧化钨是阴极电致变色材料，其中因电化学还原而发生显色转变(自透明转变成蓝色)。

例如，电致变色材料可并入到家庭、商业及其他用途的窗中。可通过引发电致变色材料的变化来改变此类窗户的色彩、透射率、吸光率和/或反射率，即，电致变色窗是可用电子方法变深或变浅的窗。施加于窗的电致变色器件的小电压将使窗变暗；使电压反向会使窗变亮。这种能力允许控制穿过窗的光量，并为不仅出于美学目的而且出于节省能量目的使用电致变色窗而提供巨大机会。

因为在现代能量政策中能量节约是最重要的问题，预期电致变色窗行业将在未来数年强劲增长。电致变色窗制造的一个重要方面是在玻璃上涂布薄膜以产生电致变色器件堆，以及使器件堆图案化来使其起作用。图案化工艺的部分包括移除部分器件堆以揭露下面的透明导电氧化物(TCO)以便将电连接(例如母线)制造到暴露的下TCO和上TCO上，以便给它们传送电力并因此穿过电致变色器件堆赋予电势以驱动其着色功能。选择性移除这些材料以揭露下面的TCO可能是有问题的，例如取决于组成电致变色器件的材料。

概述

本文公开的实施方案一般涉及诸如电致变色器件的光学器件以及制造光学器件的方法。

某些实施方案属于一种制造光学器件的方法，其中该方法按以下顺序包括：(a)将光学器件的子层暴露于能量源，(b)在子层上沉积光学器件的一个或多个材料层，以及(c)用激光烧蚀一个或多个材料层和子层以暴露下面的层。

某些实施方案属于一种制造光学器件的方法，其中该方法包括：i)将牺牲材料层施加到光学器件的一个或多个子层的区域的一部分中，ii)在牺牲材料层和一个或多个子层上沉积光学器件的一个或多个材料层，以及iii)将激光施加到该部分以将光学器件烧蚀至少下降到牺牲材料层。

关于iii)中的牺牲层的区域，牺牲材料层可从一个或多个子层的区域的一部分中完全移除，或者牺牲层的区域中的一些可维持在其被施加到的区域中。关于渗透到牺牲层的深度，在某些实施方案中期望完全移除牺牲层以使得任何子层被清晰地暴露，例如，下面的透明导电层可被暴露用于施加母线。在其他实施方案中，牺牲层可在iii)之后在后续处理步骤中维持被移除。

某些实施方案属于一种光学可切换器件，其包括基本透明衬底，设置在基本透明衬底上的下导电层，以及在衬底区域的一部分上方在下导电层上的母线，其中区域的剩余部分具有包括在底部导电层顶部在子层上的牺牲材料层的一个或多个材料层。