[发明专利]一种照明面积连续可调均匀照明系统

说明书

本发明提供了一种照明面积连续可调均匀照明系统，系统包括：依次沿光轴设置的激光光源、光斑调节镜组、汇聚镜组，其中，光斑调节镜组包括：依次设置的第一透镜以及第二透镜，第一透镜的入光面朝向激光光源；第一透镜的出光面远离激光光源设置；第二透镜的入光面朝向第一透镜的出光面；第二透镜的出光面朝向光斑调节镜组的入光面设置；第二透镜的出光面朝向汇聚镜组设置；第二透镜沿光轴方向运动；汇聚镜组包括：串联设置的第三透镜、第四透镜以及第五透镜，其中，第三透镜的入光面朝向第二透镜的出光面，第三透镜的出光面朝向第四透镜的入光面，第四透镜的出光面朝向第五透镜的入光面设置。应用本发明实施例，结构更加简单。

技术领域

本发明涉及激光光刻技术领域，具体涉及一种照明面积连续可调均匀照明系统。

背景技术

随着现代PCB板技术的发展，光刻技术得到了越来越多的广泛应用，随着PCB曝光机对产能的要求越来越高，因此对光源的利用率的要求也越来越高，传统的照明系统，其照明面积通常是固定的，这个照明面积需要跟接收器匹配，照明面积稍大一点，会降低能量的利用率，照明面积稍小一点，会引起均匀性不好或图像缺失。因此如何在均匀性和能量利用率之间取得平衡是非常关键的。进而如何得到照明面积，即光斑尺寸连续可调的照明系统是亟待解决的技术问题。

现有技术中申请号为201720288170.3的实用新型专利申请揭示了一种LED灯，LED灯包括驱动机构、灯头组件、散热机构、第一LED模组、保护机构、第一旋转机构及第二旋转机构。灯头组件设置于驱动机构的一侧。散热机构设置于驱动机构的另一侧，散热机构位于灯头组件的一侧。第一LED模组设置于散热机构，第一LED模组位于驱动机构的一侧。保护机构设置于散热机构的两侧，保护机构连接驱动机构的另一侧，保护机构位于第一LED模组的一侧。第一旋转机构及第二旋转机构设置于散热机构，第一旋转机构及第二旋转机构位于保护机构间，第二旋转机构位于第一旋转机构的一侧。本实用新型改进了LED灯的结构，LED灯的发光角度及照明面积可调节，使得LED灯在较小的空间都可安装使用，LED灯的光源利用率高，减少能源消耗。

但是，现有技术中仅能应用于普通照明领域，且，通过调节第一旋转机构与第二旋转机构的旋转角度实现照明面积的调节，结构较为复杂。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于如何简化调节机构。

本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

本发明实施例提供了一种照明面积连续可调均匀照明系统，所述系统包括：依次沿光轴设置的激光光源、光棒、光斑调节镜组、汇聚镜组，其中，

所述光棒为长方体，且所述光棒的中轴线与光轴重合；

所述光斑调节镜组包括：依次设置的第一透镜以及第二透镜，所述第一透镜的入光面朝向光棒出光面，且该入光面的形状为凸面或者平面；第一透镜的出光面远离激光光源设置，且该侧面为凸面；第二透镜的入光面朝向第一透镜的出光面，且该入光面的形状为凸面；第二透镜的出光面朝向光斑调节镜组的入光面设置，且该出光面的形状为凸面；第二透镜的出光面朝向汇聚镜组设置；且所述第二透镜沿光轴方向运动；

所述汇聚镜组包括：串联设置的第三透镜、第四透镜以及第五透镜，其中，所述第三透镜的入光面朝向所述第二透镜的出光面，第三透镜的出光面朝向第四透镜的入光面，所述第四透镜的出光面朝向第五透镜的入光面设置；所述第三透镜的入光面和出光面均为凹面，第四透镜的入光面和出光面以及第五透镜的入光面和出光面均为凸面；

还包括入光面朝向第五透镜出光面的第六透镜，所述第六透镜的入光面为凹面，出光面为凸面；

第一透镜为正透镜，第二透镜为正透镜，第三透镜为负透镜，第四透镜为正透镜，第五透镜为正透镜，第六透镜为正透镜；

还包括入光面朝向第六透镜出光面的第一反射镜，所述第一反射镜的反射面的法线与所述光轴存在非零夹角。