[发明专利]闸阀

说明书

本发明的闸阀包括：具有第一开口部及第二开口部的阀箱；位于阀箱内中空部内的阀体；支撑阀体的旋转轴；可旋转驱动阀体的旋转驱动部；对旋转轴连接阀体的中立阀部；设置于阀体的可动阀框部；连接中立阀部与可动阀框部的阀框施力部；可动阀片部，相对于可动阀框部，通过阀片滑动密封部能够在流道方向上移位且设置于阀体上；连接可动阀框部与可动阀片部的阀片施力部；可使可动阀框部朝向与第一开口部的周缘接触的阀关闭位置移动的阀箱施力部；以及驱动阀箱施力部的驱动部。在可动阀片部的边缘部的全周设置有在外周位置上具有阀片滑动密封部的内周曲柄部，在内周曲柄部的圆周方向上设置有在流道方向上具有深度的周槽。

技术领域

本发明涉及闸阀，特别涉及适用于可进行背压消除的钟摆阀的技术。

背景技术

在真空装置等中，设置有将腔室与配管之间、配管与配管之间或者配管与泵等之间等的不同真空度的两个空间之间隔断、以及连接隔断的两个空间的闸阀。作为这样的闸阀，已知有各种形式的阀门。

本发明人开发了一种闸阀并提出专利申请(专利文献1)，该闸阀能够进行高可靠性的隔断操作，能够实现100％的背压消除率。在该闸阀中设置有横穿流道而形成的阀箱；通过与流道方向平行的轴线的旋转轴可旋转的中立阀部；作为相对于中立阀部在流道方向上可滑动的可动阀部，被按压到阀箱在流道上的开口部并可密封的第一可动阀部；相对于第一可动阀部在流道方向上可滑动的第二可动阀部；将第一可动阀部按压到开口部并可进行密封操作的第一施力部；可调整第一可动阀部与所述第二可动阀部的厚度尺寸的第二施力部；以及对第一可动阀部相对于中立阀部施力的第三施力部。

在设置闸阀的装置和制造线等中，要求闸阀的开口径的大型化，同时要求可动阀部的轻量化。

专利文献1：日本专利第6358727号

但是，伴随着闸阀的开口径的大型化，阀体的重量增加。因此，为了驱动阀体所需的驱动力也变大。因此，用于驱动阀体的现有的驱动装置存在可能直接对阀体的驱动造成障碍的问题。因此，要求实现阀体轻量化。

但是，如果在开口径大型化的钟摆阀中进行轻量化，则有可能导致阀体等的强度不足，在这种情况下，有可能降低操作可靠性。

特别对钟摆阀，要求防止背压消除的可靠性降低。也就是在沿着由钟摆阀隔断的流道的方向上，无论在哪一个方向上，都要求毫不逊色地维持密封性。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其想要达到以下目的。

1、可应对闸阀中的开口径的大型化。

2、使阀体的轻量化成为可能。

3、防止操作可靠性的降低。

4、将不同差压方向下的背压消除性能维持在同一水平。

本发明的闸阀是用于隔断流道的闸阀，包括：阀箱，插入到所述流道中并且具有相互对置连通形成所述流道的第一开口部及第二开口部；阀体，位于所述阀箱内的中空部内并能开放及关闭所述流道；旋转轴，在所述中空部内的退避位置与阀开口遮蔽位置之间能够旋转地支撑所述阀体并且具有在流道方向上延伸的轴线；旋转驱动部，能够旋转驱动所述阀体；中立阀部，对所述旋转轴连接所述阀体；可动阀框部，相对于所述中立阀部，在所述流道方向上能够移位且设置于所述阀体上；阀框施力部，连接所述中立阀部与所述可动阀框部；可动阀片部，相对于所述可动阀框部，通过阀片滑动密封部在所述流道方向上能够移位且设置于所述阀体上；阀片施力部，连接所述可动阀框部与所述可动阀片部；阀箱施力部，设置于所述阀箱中并能使所述阀开口遮蔽位置的所述可动阀框部朝向与所述第一开口部的周缘接触的阀关闭位置移动；以及驱动部，驱动所述阀箱施力部。在所述可动阀片部的边缘部的全周设置有在外周位置上具有所述阀片滑动密封部的内周曲柄部，在所述内周曲柄部的圆周方向上设置有在所述流道方向上具有深度的周槽。据此解决上述课题。