[发明专利]晶圆检测红外光转向机构及方法在审
| 申请号： | 202010400819.2 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111692977A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 淦克金;杨铮;吴志锋 | 申请（专利权）人： | 苏州舜治自动化机械设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 215156 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 红外光 转向 机构 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；
对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；
对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，所述反射镜为离轴抛物面镜。
3.根据权利要求1所述的晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，所述曲面镜一和曲面镜二均为离轴椭球面镜。
4.一种晶圆检测红外光转向机构，其特征在于，包括反射镜、曲面镜一和曲面镜二，测试晶圆放置在曲面镜一和曲面镜二之间，所述曲面镜一和曲面镜二对称分布在晶圆两侧，所述反射镜设置于曲面镜一的斜上方。
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