[发明专利]一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置

说明书

一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，它包括废弃的电子特气尾气，所述电子特气尾气分别连接尾气输入截止阀进口和尾气旁通截止阀进口，所述尾气输入截止阀出口接压缩机进口，压缩机出口接进低温杜瓦截止阀进口，低温杜瓦截止阀出口接低温杜瓦原料进口。尾气旁通截止阀出口接低温杜瓦原料进口，本发明装置自带LNG储罐，系统冷源由LNG汽化提供，多余冷量还可提供车载空调使用。利用车载燃料电池，以汽化LNG为燃料，可为装置提供电能，多余电能可输入车载电池，减少载重车能耗。

技术领域

本发明车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，属于尾气回收技术领域。

背景技术

高纯电子特气广泛应用于半导体、芯片等高端电子行业，具有较高的经济价值。目前，多数芯片厂商对于使用后的电子特气尾气，往往采用处理后直接排放。这种方式不但有碍于环境的保护，同时也浪费了电子特气原料。本发明开发了一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，采用车载撬装模式，能够从工厂排放的电子特气尾气中回收电子特气，得到低纯电子特气和高纯电子特气。本发明装置自带LNG储罐，系统冷源由LNG汽化提供，多余冷量还可提供车载空调使用。利用车载燃料电池，以汽化LNG为燃料，可为装置提供电能，多余电能可输入车载电池，减少载重车能耗。

发明内容

本发明公开了一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，本发明装置将电子工厂排放的废气经过一系列处理后重新获得高纯电子特气。电子工厂排放的废气：①首先通过压缩机加压，通入低温杜瓦除去尾气中的高沸点杂质；②低温杜瓦出口尾气经过高压吸附模块初步纯化，得到纯度97%（V/V）以上的低纯电子特气；③低纯电子特气经低温精馏得到5N（V/V）高纯电子特气。本发明装置自带LNG储罐，系统冷源由LNG汽化提供，多余冷量还可提供车载空调使用。利用车载燃料电池，以汽化LNG为燃料，可为装置提供电能，多余电能可输入车载电池，减少载重车能耗。

为实现本发明的目的，本发明一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，它包括废弃的电子特气尾气，所述电子特气尾气分别连接尾气输入截止阀进口和尾气旁通截止阀进口，所述尾气输入截止阀出口接压缩机进口，压缩机出口接进低温杜瓦截止阀进口，低温杜瓦截止阀出口接低温杜瓦原料进口。尾气旁通截止阀出口接低温杜瓦原料进口，所述低温杜瓦原料出口分别接吸附进料截止阀进口、吸附进料截止阀进口、吹扫排空截止阀进口，所述吹扫排空截止阀出口接外界环境。低温杜瓦保温腔顶部出口接高压液化压缩机进口，高压液化压缩机出口接充装汇流排，充装汇流排连接产品钢瓶。充装汇流排管路上设置紧急排放截止阀。

作为优选：所述吸附进料截止阀出口连接高压吸附塔进口，吸附进料截止阀出口连接高压吸附塔进口，该高压吸附塔出口分别接截止阀进口和第一吹扫截止阀出口；所述高压吸附塔出口分别接截止阀进口和第二吹扫截止阀出口，所述第一吹扫截止阀和第二吹扫截止阀进口共同连接吹扫气源。

作为优选：所述截止阀和截止阀出口共同接低纯产品截止阀进口和换热器热端进口，所述低纯产品截止阀出口分别连接截止阀出口和低纯气体产品存储管路，所述换热器热端出口接精馏原料截止阀进口，精馏原料截止阀出口接精馏塔原料进口，所述精馏塔塔底出料口接液体截止阀进口，液体截止阀出口接换热器冷端进口，换热器冷端出口接低温杜瓦保温腔底部进口，所述精馏塔塔顶排气口接截止阀进口，截止阀出口接废气缓冲罐进口，废气缓冲罐出口分别接截止阀进口、截止阀进口，截止阀出口连外部排空管路。

作为优选：所述换热器冷端进口连接车内制冷循环出口，所述该车内制冷循环连接截止阀出口和截止阀出口，所述截止阀进口连接LNG储罐气体出口，截止阀进口连接LNG储罐液体出口，所述换热器冷端出口接燃料电池装置原料进口。LNG储罐顶部还设置有安全阀，防止LNG储罐超压，所述燃料电池装置产生的电能经过稳压装置稳压后可作为压缩机、高压液化压缩机输入电源和作为车载电池辅助充电电源。