[发明专利]一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置

权利要求书

1.一种车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，它包括废弃的电子特气尾气（1），其特征在于所述电子特气尾气（1）分别连接尾气输入截止阀（2）进口和尾气旁通截止阀（3）进口，所述尾气输入截止阀（2）出口接压缩机（4）进口，压缩机（4）出口接进低温杜瓦截止阀（5）进口，低温杜瓦截止阀（5）出口接低温杜瓦（6）原料进口，尾气旁通截止阀（3）出口接低温杜瓦（6）原料进口，所述低温杜瓦（6）原料出口分别接吸附进料截止阀（8）进口、吸附进料截止阀（9）进口、吹扫排空截止阀（34）进口，所述吹扫排空截止阀（34）出口接外界环境，低温杜瓦（6）保温腔（7）顶部出口接高压液化压缩机（24）进口，高压液化压缩机（24）出口接充装汇流排（33），充装汇流排（33）连接产品钢瓶（25），充装汇流排（33）管路上设置紧急排放截止阀（26）。

2.根据权利要求1所述的车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，其特征在于所述吸附进料截止阀（8）出口连接高压吸附塔（10）进口，吸附进料截止阀（9）出口连接高压吸附塔（11）进口，该高压吸附塔（10）出口分别接截止阀（12）进口和第一吹扫截止阀（36）出口；所述高压吸附塔（11）出口分别接截止阀（13）进口和第二吹扫截止阀（35）出口，所述第一吹扫截止阀（36）和第二吹扫截止阀（35）进口共同连接吹扫气源。

3.根据权利要求2所述的车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，其特征在于所述截止阀（12）和截止阀（13）出口共同接低纯产品截止阀（14）进口和换热器（15）热端进口（41），所述低纯产品截止阀（14）出口分别连接截止阀（22）出口和低纯气体产品存储管路，所述换热器（15）热端出口（42）接精馏原料截止阀（16）进口，精馏原料截止阀（16）出口接精馏塔（17）原料进口，所述精馏塔（17）塔底出料口接液体截止阀（23）进口，液体截止阀（23）出口接换热器（15）冷端进口（38），换热器（15）冷端出口（40）接低温杜瓦（6）保温腔（7）底部进口，所述精馏塔（17）塔顶排气口接截止阀（18）进口，截止阀（18）出口接废气缓冲罐（19）进口，废气缓冲罐（19）出口分别接截止阀（20）进口、截止阀（22）进口，截止阀（20）出口连外部排空管路。

4.根据权利要求3所述的车载电子级高纯特气尾气液化回收装置，其特征在于所述换热器（15）冷端进口（39）连接车内制冷循环（43）出口，所述该车内制冷循环（43）连接截止阀（28）出口和截止阀（29）出口，所述截止阀（28）进口连接LNG储罐（27）气体出口，截止阀（29）进口连接LNG储罐（27）液体出口，所述换热器（15）冷端出口（37）接燃料电池装置（31）原料进口，LNG储罐（27）顶部还设置有安全阀（30），防止LNG储罐（27）超压，所述燃料电池装置（31）产生的电能经过稳压装置（32）稳压后可作为压缩机（4）、高压液化压缩机（24）输入电源和作为车载电池辅助充电电源。