[发明专利]柔性导电卷材的生产加工系统及制备工艺

权利要求书

1.一种柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于，包括：

第一真空镀膜装置，用于在薄膜基材表面形成磁控溅射镀膜；

第二真空镀膜装置，位于第一真空镀膜装置后方，用于在磁控溅射镀膜上形成第一金属镀层；

第一水镀装置，位于第二真空镀膜装置后方，在第一金属镀层上形成过渡金属镀层；

第二水镀装置，位于第一水镀装置后方，在过渡金属镀层上形成增厚金属镀层。

2.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述第一水镀装置采用碱性水镀设备，而第二水镀装置采用酸性水镀设备；或第一水镀装置与第二水镀装置均采用酸性水镀设备。

3.根据权利要求2所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述的第一水镀装置与第二水镀装置之间还设置有第三真空镀膜装置，第三真空镀膜装置用于在过渡金属镀层上形成第二金属镀层，所述的增厚金属镀层则形成于第二金属镀层上。

4.根据权利要求3所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述第一金属镀层、过渡金属镀层、第二金属镀层以及增厚金属镀层所镀金属均为铜，即所述第一金属镀层、过渡金属镀层、第二金属镀层以及增厚金属镀层均为镀铜层。

5.根据权利要求3所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述第一真空镀膜装置、第二真空镀膜装置和第三真空镀膜装置均采用磁控溅射镀膜设备，第一金属镀层和第二金属镀层的厚度均为8-15nm。

6.根据权利要求5所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述第一真空镀膜装置、第二真空镀膜装置以及第三真空镀膜装置可以为同一台磁控溅射镀膜设备；所述第一水镀装置与第二水镀装置也可采用同一台酸性水镀设备。

7.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述磁控溅射镀膜为磁控溅射合金层，该磁控溅射合金层为镍铬合金层或镍铜合金层。

8.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述磁控溅射镀膜的厚度为2-10nm。

9.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述过渡金属镀层的厚度为50-250nm。

10.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述增厚金属镀层的厚度为600-950nm。

11.根据权利要求1所述的柔性导电卷材的生产加工系统，其特征在于：所述薄膜基材包括但不限于PP膜、PE膜或PET膜。

12.一种柔性导电卷材的制备工艺，用于薄膜基材表面镀金属膜，其特征在于，该制备工艺包括以下的步骤：

S1、在薄膜基材表面采用真空镀膜装置进行镀膜，形成2-10nm的磁控溅射合金层；

S2、通过真空镀膜装置，在磁控溅射合金层上形成8-15nm的第一金属镀层；

S3、通过第一水镀装置，在第一金属镀层上形成50-250nm的过渡金属镀层；

S4、通过第二水镀装置，在过渡金属镀层上形成厚度为600-950nm的增厚金属镀层。

13.根据权利要求12所述的柔性导电卷材的制备工艺，其特征在于：所述的步骤S3与步骤S4之间具有步骤S31：通过真空镀膜装置，在过渡金属镀层上形成8-15nm的第二金属镀层；

所述的步骤S4即为：通过第二水镀装置，在第二金属镀层上形成厚度为600-950nm的增厚金属镀层。

14.根据权利要求13所述的柔性导电卷材的制备工艺，其特征在于：所述的步骤S31中，通过形成的第二金属镀层对柔性导电卷材整体镀层的均匀性和致密性的补偿，使得薄膜卷材的延伸率不小于3％。