[发明专利]一种黑硅制绒片的清洗方法有效
| 申请号： | 202010361624.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111554776B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 徐卓;王红芳;李倩;张春旭;李锋;史金超;尚琪;陈志军 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/02;H01L21/67;C11D7/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝晓红 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 黑硅制绒片 清洗 方法 | ||
1.一种黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述黑硅制绒片为金属离子诱导的黑硅制绒过程所得；所述清洗方法为：依次用臭氧水溶液、纯水、混合酸溶液、纯水、臭氧水溶液、纯水对硅片进行浸泡处理，然后烘干；
所述混合酸溶液由质量浓度为40-49％的氢氟酸溶液和质量浓度为37-40％的氟酸盐溶液按2-10:1的体积比混合而成。
2.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：用所述臭氧水溶液进行浸泡处理的温度为20-55℃，浸泡时间为100-300s。
3.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述臭氧水溶液中的臭氧浓度为0.4-0.6g/m3。
4.如权利要求1～3任一项所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：在用所述臭氧水溶液浸泡处理的过程中进行超声。
5.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述氟酸盐溶液为氟化铵溶液、氟化钠溶液和氟化钾溶液中的至少一种。
6.如权利要求5所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述氟酸盐溶液为氟化铵溶液。
7.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述混合酸溶液浸泡处理的温度为20-50℃，浸泡时间为2-6min。
8.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述纯水浸泡处理的温度为20-25℃，浸泡时间为2-8min。
9.如权利要求1所述的黑硅制绒片的清洗方法，其特征在于：所述烘干温度为80-100℃，烘干时间为10-20min。
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