[发明专利]一种一体式微喷射均热板散热器及其制造方法

权利要求书

1.一种一体式微喷射均热板散热器，设置在发热芯片上，其特征在于，包括入口管道、微喷射组件、均热板本体组件和出口管道；

所述微喷射组件包括依次叠加设置的盖板、至少一块喷射板及冷凝板；

所述盖板设有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却介质入口与入口管道连通，所述冷却介质出口与出口管道连通；

所述喷射板设有分流腔、平行微槽流道、喷射微孔阵列及喷射板冷却介质出口，冷却介质通过分流腔分流平行微槽流道内，在压力作用下，冷却介质穿过喷射微孔阵列形成射流；

所述冷凝板作为微喷射组件的喷射底板，其上表面设有喷射集流腔，所述喷射集流腔包括喷射腔和集流腔；

所述均热板本体组件包括冷凝端吸液芯、铜粉环、蒸发端吸液芯、实心铜柱及蒸发板；

所述冷凝板作为均热板本体组件的冷凝板，其下表面设有冷凝端吸液芯；

所述蒸发板设有凹腔，所述凹腔内设有实心铜柱和蒸发端吸液芯，所述铜粉环烧结在实心铜柱的四周侧壁上，构成均热本本体组件的支撑结构，与冷凝端吸液芯及蒸发端吸液芯形成一体，此时冷凝板与蒸发板之间形成空腔为真空腔。

2.根据权利要求1所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，喷射板为多块时，多块喷射板叠放设置，多块喷射板内的分流腔、平行微槽流道及喷射板冷却介质出口上下位置对应。

3.根据权利要求2所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，喷射板距离冷凝板越近，喷射微孔阵列的孔数越多。

4.根据权利要求1所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，还包括一块锥孔喷射板，设置在喷射板与冷凝板之间，所述锥孔喷射板设有喷射微锥孔阵列及锥孔喷射板冷却介质出口，锥孔喷射板冷却介质出口与喷射板冷却介质出口及盖板的冷却介质出口连通。

5.根据权利要求4所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，所述喷射微锥孔阵列的中心位置及孔数与喷射板的喷射微孔阵列的中心位置及孔数一致。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，所述蒸发板还设有用于将真空腔抽取真空及注入相变工质的注液管。

7.根据权利要求1所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，所述喷射腔与集流腔互通。

8.根据权利要求1所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，所述冷凝端吸液芯及蒸发端吸液芯均为多孔状、网状、泡沫状或多种结构复合而成。

9.根据权利要求1所述的一种一体式微喷射均热板散热器，其特征在于，所述入口管道和出口管道相互平行。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的一体式微喷射均热板散热器的制造方法，其特征在于，包括：

通过冲压成型制造带冷却介质入口及冷却介质出口的盖板；

通过铣削和钻削加工出具有不同结构的喷射板；通过铣削加工出带喷射腔和集流腔的冷凝板；通过冲压、电火花或者铣削加工出带凹腔和实心铜柱结构的蒸发板；

通过冲压多孔金属材料或通过石墨模具进行铜粉颗粒烧结形成不同类型吸液芯，吸液芯上预留支撑结构孔位。

通过烧结技术使冷凝端吸液芯、蒸发端吸液芯分别烧结在冷凝板的下表面及蒸发板的凹腔内；

铜粉环烧结在实心铜柱圆周侧壁上，并摆放在蒸发端吸液芯预留的支撑结构孔位中；

采用钎焊焊接方法将盖板、喷射板、冷凝板以及蒸发板焊接成一体，形成具有除气口的壳体；

将注液管与壳体连接，采用钎焊方法对注液管进行焊接，注入液体工质并抽真空，进行二次除气后焊接密封注液管。