[发明专利]一种化学机械平坦化设备

权利要求书

1.一种化学机械平坦化设备，其特征在于，包括：

研磨组件，用于研磨加工件，其包括多个研磨机构，每个所述研磨机构上分别设置有适于抓取所述加工件的连接臂(34)，相邻所述研磨机构设置有不同规格的研磨垫；相邻所述研磨机构间设有第二装载位(32)，所述连接臂(34)适于将所述加工件在所述第二装载位(32)及所述研磨机构之间进行转移；

冲刷单元，设在所述研磨机构与所述第二装载位(32)之间，用于清洗所述加工件；所述冲刷单元对称设置在相邻两个所述研磨机构上，每个所述冲刷单元包括朝向所述第二装载位(32)设置的第一喷头(33)，所述第一喷头(33)沿竖直方向朝上喷射；

传输组件，包括有机械手以及传输轨道，所述机械手适于将所述加工件在所述研磨机构与所述传输轨道之间进行转移。

2.根据权利要求1所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，每个所述研磨机构上设置有至少一个第一装载位(31)，所述第一装载位(31)靠近所述机械手设置。

3.根据权利要求2所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，所述冲刷单元还包括与所述第一喷头(33)相对设置的第二喷头，所述冲刷单元设置在所述第一装载位(31)和第二装载位(32)之间，所述第二喷头朝向所述第一装载位(31)设置。

4.根据权利要求3所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，所述研磨机构包括设置在所述连接臂(34)一端的研磨头(35)，所述连接臂(34)绕设定点旋转，所述第一装载位(31)和所述第二装载位(32)设于所述连接臂(34)的旋转路径上。

5.根据权利要求4所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，所述第一装载位(31)和所述第二装载位(32)中心的连线与所述设定点重合。

6.根据权利要求1－5中任一所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，所述传输组件包括：

暂存位，多个所述暂存位适于沿所述传输组件的传输轨道进行移动。

7.根据权利要求6所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，还包括清洗组件，所述清洗组件包括若干个清洗装置和干燥装置，所述暂存位包括第一暂存位(6)，所述第一暂存位(6)设于清洗组件与所述研磨组件之间，其上设有干片暂存区和湿片暂存区，所述干片暂存区与所述湿片暂存区分开设置。

8.根据权利要求7所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，所述暂存位还包括第二暂存位(7)，所述清洗组件远离所述研磨组件的一侧设有用于存储所述加工件的存储区(1)，所述第二暂存位(7)设于所述存储区(1)与所述清洗组件之间。

9.根据权利要求1所述的化学机械平坦化设备，其特征在于，沿所述传输轨道的延伸方向，彼此相邻的第一机械手(81)和第二机械手(82)，所述第一机械手(81)和所述第二机械手(82)可伸缩设置。