[发明专利]一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，包括废液槽罐(100)、电解槽(101)、蚀刻机(109)、药水槽(107)和气液混合循环机构(106)，其特征在于，所述蚀刻机(109)与药水槽(107)为供应一体结构，所述蚀刻机(109)设置于所述蚀刻生产线起始端一侧并与蚀刻生产线产生供料工作连接，所述废液槽罐(100)设置于蚀刻生产线末尾端并储存使用后的蚀刻液，所述电解槽(101)设置于所述废液槽罐(100)一侧并回收罐内的蚀刻液，且所述电解槽(101)通过输气管一(103)连接有氯气供应设备(104)；

所述气液混合循环机构(106)包括有药水循环泵(1061)，所述药水循环泵(1061)出水端设置有射流器(1062)，所述药水槽(107)、药水循环泵(1061)和射流器(1062)均通过循环管(108)构成循环闭合连接，且所述射流器(1062)通过输气管二(105)与所述氯气供应设备(104)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述循环管(108)靠近药水槽(107)出水端管体上安装有液体限流阀(1081)，且所述循环管(108)靠近药水槽(107)进水端管体上安装有卸压阀(1082)。

3.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述蚀刻机(109)一侧设置有抽风机构(110)，该抽风机构(110)包含抽风机，该抽风机通过风管与所述药水槽(107)顶部相连接。

4.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述输气管一(103)上安装有轴流风机(102)，所述轴流风机(102)沿电解槽(101)至氯气供应设备(104)的方向导流。

5.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述输气管二(105)上安装有单向阀(1051)，所述单向阀(1051)为气体止回阀。

6.根据权利要求5所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述输气管二(105)位于所述氯气供应设备(104)和单向阀(1051)之间的管体上连接有溢流管(111)，所述溢流管(111)远离所述输气管二(105)一端连接有氯气临时储存箱(112)。

7.根据权利要求6所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述溢流管(111)上安装有截止阀(1111)，所述截止阀(1111)为手自一体式。

8.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻铜回收系统回收氯气的装置，其特征在于，所述循环管(108)外壁上设有耐热保温材料层。