[发明专利]一种多级整流MEMS燃气流量计

权利要求书

1.一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：包括依次设置的均流段、混合段、多孔直管段、过渡段和出气通道，过渡段和出气通道之间设置有顺流块；

均流段上设置有中心进气孔和边孔，均流段通过中心进气孔和边孔与混合段连通，多孔直管段上均匀的设置有若干个通气孔一，混合段通过通气孔一与过渡段连通，顺流块上均匀的设置有若干个通气孔二，过渡段通过通气孔二与出气通道连通；

过渡段与出气通道之间还设置有将过渡段和出气通道连通的旁路，旁路与过渡段通过进气管路连通，旁路与出气通道通过出气管路连通；旁路的外部套设有基板，基板上设置有MEMS质量流量传感器，MEMS质量流量传感器位于旁路内。

2.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述边孔在均流段上呈圆周阵列分布，边孔围成的圆周与中心进气孔同轴，中心进气孔的孔径不小于边孔的孔径。

3.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述中心进气孔为直孔。

4.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述中心进气孔为进气口直径小于出气口直径的喇叭孔。

5.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述边孔为斜孔或直孔，边孔的孔壁为光滑面或螺旋面，边孔的数量为4-8个。

6.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述通气孔一为4-12个；通气孔二为4-13个。

7.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：所述旁路的数量为2-4个，每个旁路上均设置有一个MEMS质量流量传感器，MEMS质量流量传感器的表面与旁路的孔壁在同一个平面上。

8.根据权利要求1所述的一种多级整流MEMS燃气流量计，其特征在于：燃气流量计的内表面及中心进气孔、边孔、通孔一、通孔二、进气管路、旁路、出气管路的孔壁上均喷涂有陶瓷涂层、疏水材料涂层或特氟龙涂层。