[发明专利]溅射装置

权利要求书

1.一种溅射装置，其具有：

成膜辊，该成膜辊沿周向输送膜；以及

多个成膜室，该多个成膜室沿着所述成膜辊的周向配置，

该溅射装置的特征在于，

所述多个成膜室均具有：

靶单元，该靶单元与所述成膜辊隔有间隔地相对配置；以及

壁部，该壁部划分出所述成膜室，

在所述壁部设有排气部，

在与所述成膜辊的轴向正交的剖视图中，在经过所述成膜辊的中心和所述排气部的中心的第1假想线上配置有所述靶单元。

2.根据权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，

所述壁部具有：

排气壁，在该排气壁设有所述排气部；以及

两个分隔壁，该两个分隔壁从所述排气壁朝向所述成膜辊地沿径向延伸，彼此隔有间隔地配置，

所述排气壁相对于所述第1假想线对称。

3.根据权利要求2所述的溅射装置，其特征在于，

所述两个分隔壁相对于所述第1假想线对称。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的溅射装置，其特征在于，

所述壁部还具有将所述排气壁和所述分隔壁连结起来的连结壁，

所述连结壁相对于经过所述成膜室的在所述轴向上的中心的第2假想线对称。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的溅射装置，其特征在于，

在所述多个成膜室均设有与所述排气部相连结的泵。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的溅射装置，其特征在于，

所述排气部相对于经过所述成膜室的在所述轴向上的中心的第2假想线对称。