[发明专利]一种微腔结构顶发射器件及其制备方法在审
| 申请号: | 202010235695.7 | 申请日: | 2020-03-30 |
| 公开(公告)号: | CN111403631A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
| 发明(设计)人: | 刘琳琳;梁依倩 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/50;H01L51/52 |
| 代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 朱玲艳 |
| 地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 结构 发射 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种微腔结构顶发射器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
以阳极基板为工作电极,在第一电解液中进行第一电化学聚合,得到沉积有空穴传输层的阳极基板;所述第一电解液中含有空穴传输电活性单体和支持电解质;
以所述沉积有空穴传输层的阳极基板为工作电极,在第二电解液中进行第二电化学聚合,在空穴传输层表面形成白色发光层;所述第二电解液中含有白色发光电活性单体和支持电解质;
在所述白色发光层表面依次蒸镀电子传输层、电子注入层和阴极层,得到微腔结构顶发射器件。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述阳极基板包括依次层叠的金属反射层和ITO层;所述金属反射层的厚度为50~300nm,所述ITO层的厚度为10~200nm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一电化学聚合的扫描电压为-3~3V,扫描圈数为5~500圈,扫描速度为10~1000mV/s,所述第一电解液中支持电解质的浓度为10-3~102mol/L;所述空穴传输层的厚度为20~100nm。
4.根据权利要求1或3所述的制备方法,其特征在于,所述空穴传输电活性单体包括4,4’,4”-三(咔唑-9-基)三苯胺、聚乙烯咔唑、乙烯基咔唑、三苯胺、3,4-乙烯二氧噻吩或上述分子衍生物中的一种或几种;所述空穴传输电活性单体在第一电解液中的浓度为10-6~103mol/L。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第二电化学聚合的扫描电压为-3~3V,扫描圈数为5~500圈,扫描速度为10~1000mV/s,所述第二电解液中支持电解质的浓度为10-3~102mol/L;所述白色发光层的厚度为40~100nm。
6.根据权利要求1或5所述的制备方法,其特征在于,所述白色发光电活性单体包括红光前体分子、绿光前体分子和蓝光前体分子,所述红光前体分子、绿光前体分子和蓝光前体分子在第二电解液中的浓度独立地为10-6~103mol/L。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一电解液和第二电解液中,所述支持电解质均由阳离子和阴离子组成,所述阴离子包括高氯酸根离子、四氟硼酸根离子、六氟磷酸根离子、六氟砷酸根离子、硝酸根离子和磷酸根离子中的至少一种;所述阳离子包括钠离子、钾离子、锂离子、四甲基铵离子、四乙基铵离子和四正丁基铵离子中的至少一种。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一电化学聚合和第二电化学聚合均在三电极体系电解池中进行,所述三电极体系电解池所用参比电极为Ag/Ag+、Ag/AgCl、饱和甘汞电极或氢电极,对电极为Ti板或Pt板。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述电子传输层的厚度为10~100nm,所述电子注入层的厚度为0.1~5nm,所述阴极层的厚度为10~50nm。
10.权利要求1~9任一项所述制备方法制备得到的微腔结构顶发射器件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





