[发明专利]一种钨丝绳晃晶测试系统及其方法

权利要求书

1.一种钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，包括长晶模拟机构和测量反馈机构；其中，所述长晶模拟机构用于模拟钨丝绳及重锤在单晶硅生长过程中的悬挂转动模式；测量反馈机构包括采集模块、测量模块和显示模块，其中，采集模块用于获取钨丝绳及重锤转动过程中的图像，并将图像放大通过显示模块显示；测量模块用于测量转动中重锤的轴心偏移量，并将轴心偏移量通过显示模块显示。

2.根据权利要求1所述的钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，所述长晶模拟机构包括设置于高处的电机(1)，所述电机(1)上吊挂有钨丝绳(2)，钨丝绳(2)上配套安装有重锤(3)。

3.根据权利要求2所述的钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，所述采集模块包括摄像头(4)，所述摄像头(4)用于拍摄电机(1)旋转后钨丝绳(2)及重锤(3)转动图像。

4.根据权利要求3所述的钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，所述摄像头(4)为CCD高频捕捉摄像头。

5.根据权利要求3所述的钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，所述测量模块包括位移传感器(5)，位移传感器(5)用于测量转动中钨丝绳和重锤的轴心偏移量，并且记录后并生成曲线，用于记录钨丝绳晃动量和偏移情况，以反馈其直线度和垂直度性能。

6.根据权利要求5所述的钨丝绳晃晶测试系统，其特征在于，所述位移传感器(5)为红外位移传感器。

7.一种基于权利要求1-6任一项权利要求所述的钨丝绳晃晶测试系统的测试方法，其特征在于，包括：

1)、将长晶模拟机构设置完成，通过测量模块测量静止重锤时的距离，并将测距归零；

2)、启动长晶模拟机构，使得钨丝绳及重锤均速转动，并通过采集模块获取钨丝绳及重锤转动过程中的图像，并将图像放大通过显示模块显示；测量模块测量转动中重锤的轴心偏移量；

3)、实时记录测量的轴心偏移量，并将重锤的轴心偏移量生成曲线，用于记录钨丝绳系统晃动量和偏移情况，以反馈其直线度和垂直度性能。

8.根据权利要求7所述的基于钨丝绳晃晶测试系统的测试方法，其特征在在于，所述采集模块、测量模块以及显示模块均安装于控制台上。

9.根据权利要求7所述的基于钨丝绳晃晶测试系统的测试方法，其特征在于，所述钨丝绳及重锤均速转动速率为3n/min～20n/min。