[发明专利]线锯机

说明书

本发明公开了线锯机1，包括使工件W在通过线33切割工件W的加工位置P1和工件W的交换的工件交换位置P2之间移动的工件进给机构4。工件进给机构4包括：安装工件W的工件治具23，设在工件治具23的连杆46，自由转动地连结到连杆46的一端侧的第一臂部44，自由转动地连结到连杆46的另一侧的第二臂部45，和使第一臂部及第二臂部45的至少一者转动的驱动组件；第一臂部44和第二臂部45和连杆46构成连杆机构，连杆46和工件治具23即使在连杆机构位置发生改变的情况下也维持着垂直状态。本发明的线锯机，具有高工件进给精度。

技术领域

本发明涉及包括工件进给机构的线锯机。

背景技术

一般来说，用线对半导体材料或者磁性材料等的工件进行切割的线锯机，包括工件进给机构(工件支撑装置)，该工件支撑装置将工件搬送到进行工件的加工的加工位置和进行工件的装拆的工件交换位置(例如参照专利文献1)。

在专利文献1记载的线锯机的工件支撑装置中，包括设置在机台的旋转驱动组件、通过旋转驱动组件而转动的摆臂、和设置在摆臂的远端并保持工件的工件支架。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本特开平7-237109号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在专利文献1记载的线锯机的工件支撑装置中，通过摆臂使工件移动时，工件的姿势在安装位置/拆卸位置时的姿势和切割位置时的姿势下变化较大(180°)。因此，工件(晶片)在切割后向安装位置/拆卸位置移动中，有时会破裂。

因此，本发明的课题是提供一种线锯机，该线锯机能够解决所述问题点，在使工件移动到加工位置和工件交换位置时，以使工件的姿势不发生变化且不产生破裂的方式移动。

用于解决课题的手段

为了解决所述课题，本发明的线锯机包括工件进给机构，所述工件进给机构使工件在通过线切割工件的加工位置，和进行所述工件的交换的工件交换位置之间移动，其特征在于，所述工件进给机构包括：工件治具，安装所述工件；连杆，自由转动地设在所述工件治具上；第一臂部，自由转动地连结到所述连杆的一端侧；第二臂部，自由转动地连结到所述连杆的另一端侧；驱动组件，使所述第一臂部及所述第二臂部的至少一者转动；所述第一臂部、所述第二臂部和所述连杆构成连杆机构，所述连杆和所述工件治具即使在所述连杆机构发生位置变化的情况下，也维持着垂直状态。

另外，本发明的线锯机包括工件进给机构，所述工件进给机构使工件在通过线切割工件的加工位置，和进行所述工件的交换的工件交换位置之间移动，其特征在于，所述工件进给机构包括：驱动齿轮，被马达驱动旋转；第一从动齿轮及第二从动齿轮，通过所述驱动齿轮的旋转而被驱动；第一臂部，通过所述第一从动齿轮的旋转而转动；第二臂部，通过所述第二从动齿轮的旋转而转动；连杆，自由转动地连结所述第一臂部的远端部和所述第二臂部的远端部；工件治具，设置于所述连杆，安装所述工件；所述第一臂部、所述第二臂部和所述连杆构成连杆机构，所述连杆和所述工件治具即使在所述连杆机构发生位置变化的情况下，也维持着垂直状态。

发明效果

本发明提供一种线锯机，该线锯机能够在使工件在加工位置和工件交换位置之间移动时，以不改变工件的姿势且不产生破裂的方式使其移动。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的线锯机的示意图，其中(a)是表示将工件配置到工件交换位置时的状态的主要部分概略立体图，(b)是表示将工件配置到工件加工位置时的状态的主要部分概略立体图。

图2是表示工件进给机构的主要部分概略放大侧视图。

图3是表示工件进给机构的主要部分概略放大主视图。

符号的说明