[发明专利]一种碳化硅瑕疵检测设备

权利要求书

1.一种碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物台的第一光源，所述支撑架位于载物台下方的位置设置有照向载物台透射光源；

所述支撑架位于透射光源的下方的位置还设置有照向载物台的偏振光源，所述支撑架位于成像装置下方的位置设置有验偏器，所述验偏器可转动并脱离成像装置的正下方。

2.根据权利要求1所述的碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：所述第一光源包括设置到支撑架上的第一连接臂，所述第一连接臂上设置第一发光灯，且在第一连接臂远离支撑架的一端固定有第一安装框架，所述第一安装框架上下贯通，且朝向第一发光灯的一侧设有开孔，所述第一安装框架内倾斜的设置有第一半反射镜，所述第一半反射镜的镜面与载物台表面呈45度角，且第一半反射镜上端与开孔的截面呈45度角。

3.根据权利要求1所述的碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：所述透射光源包括设置到支撑架下端的第二连接臂，所述第二连接臂上固定有第二发光灯，且第二连接臂远离支撑架的一端设置有第二安装框架，所述第二安装框架上下贯通，且朝向第二发光灯的一侧设有孔，所述第二安装框架内倾斜的设有第二半反射镜，所述第二半反射镜的镜面下端与载物台表面呈45度角，且第二半反射镜上端与孔的截面呈45度角。

4.根据权利要求1所述的碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：所述偏振光源包括设置到支撑架上的第三连接臂，所述第三连接臂远离支撑架的一端固定有第三发光灯，所述第三连接臂端部固定有第一偏振片，所述第一偏振片位于第三发光灯正上方，所述第三部连接臂可移动使第一偏振片移动到其他位置。

5.根据权利要求1所述的碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：所述验偏器包括设置到支撑架上的第四连接臂，所述第四连接臂上设置有第二偏振片，所述第四连接臂可移动使第二偏振片移动到成像装置的正下方。

6.根据权利要求1所述的碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：所述载物台的通孔边缘上设置多个有支撑支点。