[发明专利]封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用

权利要求书

1.封装固体高纯金属有机化合物的容器，包括瓶体(11)、进气管(7)以及出气管(10)，其特征在于：所述瓶体(11)内设置有烧结片(13)，将内腔分隔为上腔以及下腔，上腔的容积大于下腔的容积；瓶体顶部(8)具有加料口(6)，加料口(6)与上腔连通；进气管(7)进入到上腔与其连通，其进气口(9)具有用于对载气气流导向的气流导向结构；出气管(10)进入到下腔与其连通。

2.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：所述气流导向结构为一用以将气流导向瓶体顶部(8)的向上弯曲部，或者为一用以将气流导向瓶体内侧壁的向内侧壁偏折部，或者为一水平弯曲部，或者为一设置于进气口(9)下方的挡板。

3.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：向上弯曲部的出口方向与进气管(7)的载气气流进入流向呈一夹角，夹角角度为90°～180°，与向上弯曲部的出口正对的瓶体顶部(8)的底面区域为平面、曲面、或者平面与曲面结合的形状。

4.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：向内侧壁偏折部的出口方向与进气管(7)的载气气流进入流向呈一夹角，夹角角度为45°～90°。

5.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：水平弯曲部为沿着内侧壁的弧形管，弧形管的末端设置出口，或者弧形管上分散设置出口，出口朝向瓶体顶部(8)，与出口正对的瓶体顶部(8)的底面区域为平面、曲面、或者平面与曲面结合的形状。

6.根据权利要求2所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：于进气口(9)下方的0～3cm处设置一挡板，挡板为平面形状、向上曲面形状或者向下曲面形状。

7.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：上腔与下腔的容积比不小于10:1。

8.根据权利要求7所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：上腔与下腔的容积比为10:1～20:1。

9.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：上腔的底部形状为矩形、圆锥形或多边形。

10.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：烧结片(13)的滤网孔径为5～200μm。

11.根据权利要求10所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：烧结片(13)的滤网孔径为10～80μm。

12.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：下腔的结构呈矩形、圆锥形或多边形。

13.根据权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器，其特征在于：瓶体(11)具有裙边结构的底座，可置于恒温水浴槽中。

14.权利要求1所述的封装固体高纯金属有机化合物的容器应用于金属有机化学气象沉积过程，其特征在于：包括以下步骤：

①从加料口(6)加入固体金属有机化合物，加完后用堵帽(14)封住加料口(6)；

②通过进气管(7)和出气管(10)将封装容器接入金属有机化学气象沉积过程中所使用的载气气路当中；

③将封装容器置于恒温水浴槽中，调节水浴温度至设定温度并保持温度的稳定性，确保封装容器内固体金属有机化合物的蒸气压稳定；

④打开进气管(7)上的进气阀(3)和出气管(10)上的出气阀(4)，使固体金属有机化合物的蒸气随载气流入气相沉积系统，生长半导体薄膜材料。